[發明專利]帶電粒子束設備和樣本輸送設備

無效

• 申請號: 201310082287.2
• 申請日: 2013-03-15
• 公開（公告）號: CN103311081A
• 公開（公告）日: 2013-09-18
• 發明（設計）人: 荷田昌克
• 申請（專利權）人: 日本株式會社日立高新技術科學
• 主分類號: H01J37/26
• 分類號: H01J37/26;H01J37/295
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 黨曉林;王小東

1.一種帶電粒子束設備，所述帶電粒子束設備包括：

樣本室，所述樣本室能被調節以在其內部產生真空；

樣本架，所述樣本架構造成將樣本保持在所述樣本室內；

電子束照射系統，所述電子束照射系統構造成利用電子束照射由所述樣本架保持的所述樣本；

聚焦離子束照射系統，所述聚焦離子束照射系統構造成利用聚焦離子束照射由所述樣本架保持的所述樣本；

次級信號檢測器，所述次級信號檢測器構造成檢測通過所述電子束和所述聚焦離子束中的至少一者的照射而從所述樣本產生的次級信號；

樣本架驅動單元，所述樣本架驅動單元的旋轉軸線與所述電子束照射系統的照射軸線和所述聚焦離子束照射系統的照射軸線中的至少一者正交；以及

樣本輸送機構，所述樣本輸送機構構造成將所述樣本輸送到所述樣本架；

其中，所述樣本輸送機構包括沿與所述樣本架驅動單元的所述旋轉軸線平行的方向設置在所述樣本架驅動單元中的輸送路徑；并且

其中，所述樣本輸送機構構造成將所述樣本通過所述輸送路徑輸送到所述樣本架。

2.根據權利要求1所述的帶電粒子束設備，其中，所述樣本輸送機構還包括：

輔助樣本室，所述輔助樣本室能被調節以在其內部產生真空；

閘閥，所述閘閥構造成在所述輔助樣本室和所述輸送路徑之間打開和關閉；以及

輸送工具，所述輸送工具構造成當所述閘閥打開時將所述樣本從所述輔助樣本室通過所述輸送路徑輸送到設置在所述樣本室內的所述樣本架。

3.根據權利要求1所述的帶電粒子束設備，其中，

所述輸送工具包括夾持部，所述夾持部構造成夾持所述樣本和樣本保持件中的至少一者。

4.根據權利要求3所述的帶電粒子束設備，其中，

所述輸送工具能相對于與所述樣本架驅動單元的所述旋轉軸線平行的軸線旋轉，從而將由所述夾持部夾持的所述樣本和所述樣本保持件中的所述至少一者安裝在所述樣本架上。

5.根據權利要求2所述的帶電粒子束設備，其中，所述樣本架驅動單元包括：

旋轉機構，所述旋轉機構構造成與所述樣本架一起相對于所述旋轉軸線旋轉；以及

固定機構，所述固定機構構造成至少防止所述輔助樣本室和所述閘閥因所述旋轉機構而旋轉。

6.根據權利要求5所述的帶電粒子束設備，其中，

所述樣本架驅動單元還包括真空密封件，所述真空密封件設置在所述旋轉機構和所述固定機構之間。

7.根據權利要求1所述的帶電粒子束設備，

其中，所述樣本架構造成沿以下方向的至少一個方向驅動：彼此正交的三個軸向；相對于與豎直方向正交并且與所述樣本架驅動單元的所述旋轉軸線正交的軸線的旋轉方向；以及相對于沿豎直方向的軸線的旋轉方向。

8.根據權利要求1所述的帶電粒子束設備，

其中，所述電子束照射系統的照射軸線和所述聚焦離子束照射系統的照射軸線中的至少一者被設定成與豎直方向一致，并且

其中，所述樣本架驅動單元的所述旋轉軸線與所述豎直方向正交。

9.根據權利要求1所述的帶電粒子束設備，其中，

所述電子束照射系統被設置成使得所述電子束的照射軸線與豎直方向一致；

其中，所述聚焦離子束照射系統被設置成使得所述聚焦離子束的照射軸線與所述電子束的照射軸線交叉；并且

其中，所述樣本驅動單元被設置成使得所述樣本架驅動單元的所述旋轉軸線與所述電子束的照射軸線正交并且與所述聚焦離子束的照射軸線正交。

10.一種樣本輸送設備，所述樣本輸送設備構造成將樣本輸送到樣本架以利用至少一個帶電粒子束照射所述樣本并且檢測通過所述至少一個帶電粒子束的照射而從所述樣本產生的次級信號，所述樣本由所述樣本架保持在樣本室內，所述樣本室能被調節以在其內部產生真空，所述樣本輸送設備包括：

樣本架驅動單元，所述樣本架驅動單元的旋轉軸線與所述至少一個帶電粒子束的照射軸線正交，并且所述樣本架驅動單元具有沿與所述旋轉軸線平行的方向設置的輸送路徑；

其中，所述樣本輸送設備構造成將所述樣本通過所述輸送路徑輸送到所述樣本架。