[發明專利]一種設備使用率信息獲取方法

有效

• 申請號: 201310081988.4
• 申請日: 2013-03-14
• 公開（公告）號: CN103218284A
• 公開（公告）日: 2013-07-24
• 發明（設計）人: 龔丹莉;徐燕菁;婁曉祺;邵雄
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G06F11/34
• 分類號: G06F11/34;G06F17/30
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 竺路玲

技術領域

本發明涉及數據信息技術領域，尤其涉及一種基于設備使用率監測系統的設備使用率信息獲取方法。

背景技術

在當今的半導體制造業中，由于對半導體產品的要求越來越高，從而導致了半導體生產中的工藝也越來越復雜，因此，生產一個成品半導體器件就需要經過一個很繁復的工藝步驟。

在這些工藝步驟中包含著眾多的工藝數據和相關的設備數據，通過生產自動化系統和制造執行系統等可對當前的設備記錄每一個細微的動作數據，如記錄每批貨的載入時間、機器設置時間、測試程序載入時間、生產開始時間和生產完成時間等等，甚至記錄每顆IC的測試時間和分級時間等。

雖然記錄的上述數據對于整個生產過程來說非常全面，但隨之帶來的過大的信息量會加大信息處理的難度。且隨著運行時間的增加，系統中所包含的信息量也會越來越多，使用者獲得有效信息的困難度也越來越高。

中國專利（公開號：CN1707459A）公開了一種成型機臺監控系統及方法,該成型機臺監控系統包括有多個成型機臺、一應用服務器、多個客戶端計算機及一數據庫。應用服務器包括多個軟件功能模塊,用于監控成型機臺操作狀態,判斷及發送異常信息至指定地址,并對操作狀態進行分析統計。客戶端計算機具有一用戶界面用于顯示應用服務器發送的成型機臺操作狀態相關信息。數據庫用于存儲成型機臺監控過程中使用或產生的各種信息,包括成型機臺編號及工作參數如:模號、模次、開機時間、異常信息接收地址等。

中國專利（公開號：CN102200943A）公開了一種基于后臺自動檢測CPU使用率的方法和設備,通過后臺設備定時向數據庫查詢需檢測素材的文件記錄信息,并根據查詢到的所述素材的文件記錄信息檢測CPU使用率,然后將檢測得到的所述CPU使用率發送給所述數據庫,當用戶需要查詢素材CPU使用率時,只需向前臺設備發送請求,即可獲得相應的CPU使用率展示,通過應用本發明,不僅簡化了用戶的操作步驟,而且提高了檢測的準確率。

上述兩個中國專利雖然都對設備的利用率進行監控和獲取，但均不是應用于半導體的生產流水線的設備上。

可見，目前還沒有公開任何應用于半導體生產中的獲取設備使用率的方法。

發明內容

鑒于上述問題，本發明提供一種獲取設備使用率的方法。

本發明解決技術問題所采用的技術方案為：

一種設備使用率信息獲取方法，應用于生產設備的設備使用率監測系統中，所述設備使用率監測系統包括操控端、處理端和信息采集端，其中，所述操控端包括信息輸入設備、信息輸出設備和信息調用設備，其中，所述設備使用率檢測系統中還包括預設數據庫和設備使用狀態數據庫，所述方法包括以下步驟：

所述操控端中的所述信息輸入設備將設備指示數據和設備數據整合方式數據傳送并存儲于所述預設數據庫中；

所述信息采集端獲取所述生產設備的實時使用狀態數據和歷史使用狀態數據，并將所述實時使用狀態數據和所述歷史使用狀態數據儲存在所述設備使用狀態數據庫中；

所述操控端中的所述調用設備調用存儲于所述預設數據庫中的所述設備指示數據，并根據該設備指示數據獲取所述設備使用狀態數據庫中的所述實時使用狀態數據和/或所述歷史使用狀態數據；

所述處理端調用所述設備數據整合方式數據對所述操控端獲取的所述實時使用狀態數據和/或所述歷史使用狀態數據進行處理后，生成圖表數據，并將該圖表數據傳送至所述操控端中的所述輸出設備進行輸出。

所述的設備使用率信息獲取方法，其中，所述數據整合方式信息包括數據整合方式，所述數據整合方式包括以下步驟：

通過所述操控端在所述預設數據庫中形成數據信息模版；

根據所述設備指示數據信息，將所述設備使用狀態數據庫中的所述數據分配至所述數據信息模版中的對應位置處。

所述的設備使用率信息獲取方法，其中，所述設備指示數據包括設備的名稱和設備的型號。

所述的設備使用率信息獲取方法，其中，所述設備使用狀態數據庫中的數據包括：每批貨的載入時間、機器設置時間、測試程序載入時間、生產開始時間和生產完成時間。

所述的設備使用率信息獲取方法，其中，所述信息采集端對制造執行系統中的所述歷史記錄進行采集而獲取所述歷史使用狀態數據。

所述的設備使用率信息獲取方法，其中，采用柱狀圖作為所述圖表。

所述的設備使用率信息獲取方法，其中，采用折線圖作為所述圖表。

所述的設備使用率信息獲取方法，其中，采用餅狀圖作為所述圖表。