[發明專利]火棉膠薄膜的圖形化方法有效
| 申請號： | 201310080874.8 | 申請日： | 2013-03-14 |
| 公開（公告）號： | CN103193200A | 公開（公告）日： | 2013-07-10 |
| 發明（設計）人： | 蔡長龍;劉衛國;牛曉玲;韓雄;劉歡;周順;秦文罡 | 申請（專利權）人： | 西安工業大學 |
| 主分類號： | B81C99/00 | 分類號： | B81C99/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 西安新思維專利商標事務所有限公司 61114 | 代理人： | 黃秦芳 |
| 地址： | 710032*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 火棉膠 薄膜 圖形 方法 | ||
【權利要求書】：
1.火棉膠薄膜的圖形化方法，其特征在于：包括以下步驟：
????1）在火棉膠薄膜上沉積一種容易腐蝕的掩模層；
????2）采用光刻、顯影的方法在掩模層上面制作所需圖形的光刻膠圖形；
????3）采用化學溶液腐蝕的方法腐蝕掩模層，獲得所需圖形的掩模層圖形；
????4）利用丙酮腐蝕去除掩模層上面的光刻膠以及沒有掩模層部分的火棉膠薄膜，再利用掩模層腐蝕液去除剩余的掩模層，獲得火棉膠所需的圖形。
2.根據權利要求1所述火棉膠薄膜的圖形化方法，其特征在于：所述步驟1）中的掩模層材料是不溶于光刻膠、顯影液以及水的金屬以及氧化物。
3.根據權利要求1所述火棉膠薄膜的圖形化方法，其特征在于：所述步驟2）中的光刻技術是指光學曝光或電子束曝光方法。
4.根據權利要求1所述火棉膠薄膜的圖形化方法，其特征在于：所述步驟4）中的圖形的橫向尺寸小于100nm。
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