[發明專利]一種對石墨烯進行硫摻雜的方法有效
| 申請號： | 201310080785.3 | 申請日： | 2013-03-14 |
| 公開（公告）號： | CN104047060A | 公開（公告）日： | 2014-09-17 |
| 發明（設計）人： | 梁晨;李鐵;王躍林 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海微系統與信息技術研究所 |
| 主分類號： | C30B31/08 | 分類號： | C30B31/08 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所 31219 | 代理人： | 余明偉 |
| 地址： | 200050 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 石墨 進行 摻雜 方法 | ||
1.一種對石墨烯進行硫摻雜的方法，其特征在于，至少包括以下步驟：
1）提供石墨烯，將所述石墨烯置于化學氣相沉積反應腔中；
2）采用惰性氣體對所述反應腔進行通氣及排氣處理；
3）于500～1050℃下通入硫源氣體對所述石墨烯進行硫摻雜；
4）于氫氣及惰性氣體氣氛中對所述反應腔進行降溫。
2.根據權利要求1所述的對石墨烯進行硫摻雜的方法，其特征在于：所述石墨烯以金屬襯底為載體置于所述反應腔中，步驟2）之后還包括步驟a）于200～400℃下對所述反應腔通入氫氣，以對所述金屬襯底表面的氧化物進行還原。
3.根據權利要求2所述的對石墨烯進行硫摻雜的方法，其特征在于：步驟a）所述氫氣的氣流范圍為20～100sccm。
4.根據權利要求1所述的對石墨烯進行硫摻雜的方法，其特征在于：步驟2）中，惰性氣體的通氣及排氣處理時間為10～30min，氣流范圍為500～5000sccm。
5.根據權利要求1所述的對石墨烯進行硫摻雜的方法，其特征在于：所述硫源氣體包括硫化氫及硫化羰的一種或兩種。
6.根據權利要求5所述的對石墨烯進行硫摻雜的方法，其特征在于：步驟3）中硫摻雜采用氣體包括惰性氣體、氫氣及硫化氫。
7.根據權利要求6所述的對石墨烯進行硫摻雜的方法，其特征在于：于400～600℃下通入氬氣500～1500sccm，氫氣20～60sccm，硫化氫1～4sccm，對石墨烯進行摻雜10～30min。
8.根據權利要求5所述的對石墨烯進行硫摻雜的方法，其特征在于：步驟3）中硫摻雜采用氣體包括惰性氣體、氫氣及硫化羰。
9.根據權利要求8所述的對石墨烯進行硫摻雜的方法，其特征在于：于700～1050℃下通入氦氣500～1500sccm，氫氣20～60sccm，硫化羰0.5～3sccm，進行硫摻雜5～20min。
10.根據權利要求1所述的對石墨烯進行硫摻雜的方法，其特征在于：步驟4）中，氫氣的氣流范圍為10～40sccm，惰性氣體的氣流范圍為50～200sccm。
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