[發明專利]基于異質結光柵的偏振濾波器及制備方法

有效

• 申請號: 201310080587.7
• 申請日: 2013-03-13
• 公開（公告）號: CN103197366A
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發明（設計）人: 翟天瑞;林遠海;張新平;劉紅梅;王麗
• 申請（專利權）人: 北京工業大學
• 主分類號: G02B5/30
• 分類號: G02B5/30;G03F7/00
• 代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司 11203
• 代理人: 張慧

1.一種基于異質結光柵的偏振濾波器，其特征在于，在基底上的一維激光干涉圖案由相鄰的兩種不同周期的金屬激光干涉圖案連接組成，兩種激光干涉圖案的條紋方向一致，兩種不同周期的激光干涉圖案的周期之比Λ₂/Λ₁范圍為0.6-1.5，入射光所在的激光干涉圖案的周期Λ₁范圍為200nm-2000nm。?

2.按照權利要求1的一種基于異質結光柵的偏振濾波器，其特征在于，激光干涉圖案的薄膜厚度優選為50-500nm。?

3.按照權利要求1的一種基于異質結光柵的偏振濾波器，其特征在于，金屬優選金、銀或鉑。?

4.權利要求1所述的一種基于異質結光柵的偏振濾波器的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：?

1)以500-4000rpm的轉速，將記錄介質溶液旋涂在基底上，獲得厚度均勻的記錄介質薄膜，薄膜的厚度為50-500nm；?

2)將兩種不同周期的激光干涉圖案分別與連續記錄介質薄膜的兩個相鄰區域作用，并經過顯影、定影處理，形成相鄰的兩種不同周期的金屬激光干涉圖案，即記錄介質一維異質結納米光柵結構樣品；?

3)將直徑為2-10nm的金屬納米顆粒溶解于有機溶劑中，制成40-100mg/ml的金屬納米顆粒溶膠；?

4)將步驟3)中制備的金屬納米顆粒溶膠，以1500-4000rpm的轉速，旋涂在步驟2)中制備的一維異質結納米光柵結構上；?

5)將步驟4)中制備的樣品在200-300℃的加熱板上或200-500℃電爐中加熱20-90s，得到基于異質結光柵的偏振濾波器。?

5.按照權利要求4的方法，其特征在于，步驟1）的轉速為2000rpm。?

6.按照權利要求4的方法，其特征在于，記錄介質為光刻膠。?

7.按照權利要求4的方法，其特征在于，基底選自玻璃、ITO玻璃、FTO玻璃、石英片或者硅片。?

8.按照權利要求4的方法，其特征在于，干涉光刻所用激光波長小于等于500nm?。

9.按照權利要求4的方法，其特征在于，所述的有機溶劑為二甲苯、甲苯、氯苯、二氯苯、苯、三氯甲烷、環己烷、戊烷、己烷或辛烷中的一種。?