[發(fā)明專利]一種磷化銦生長的多晶碎料清洗方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310079863.8 | 申請日： | 2013-03-12 |
| 公開（公告）號： | CN104047056A | 公開（公告）日： | 2014-09-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 關(guān)活明 | 申請（專利權(quán)）人： | 臺山市華興光電科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B29/40 | 分類號： | C30B29/40;C30B11/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 529341 *** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 磷化 生長 多晶 清洗 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種磷化銦生長的多晶碎料清洗方法，其特征在于：
1)先將磷化銦生長的多晶碎料放入雙氧水中浸泡10-30分鐘，再放入乙醇溶液中浸泡2-5分鐘，然后取出放入超聲波清水洗5-10分鐘；
2)取出后置入真空烘烤爐中，然后，用抽真空設(shè)備將烘烤爐的本底真空度抽至10-5Pa數(shù)量級及以上，溫度100℃-150℃，持續(xù)10-40分鐘；
3)冷卻后取出放置于真空干燥器中待用。
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