[發明專利]一種采用無水氯硅烷提純氯化氫的方法無效
| 申請號: | 201310079517.X | 申請日: | 2013-03-13 |
| 公開(公告)號: | CN103910332A | 公開(公告)日: | 2014-07-09 |
| 發明(設計)人: | 莊田;謝坤;黃健翔;楊菲;李杰 | 申請(專利權)人: | 上海梅思泰克生態科技有限公司 |
| 主分類號: | C01B7/07 | 分類號: | C01B7/07 |
| 代理公司: | 上海信好專利代理事務所(普通合伙) 31249 | 代理人: | 賈慧琴 |
| 地址: | 200433 上海*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 采用 無水 硅烷 提純 氯化氫 方法 | ||
1.一種采用無水氯硅烷提純氯化氫的方法,其特征在于,所述的方法采用氯硅烷RnSiCl(4-n)為HF吸附劑,利用如下化學反應提純待處理的氯化氫氣體:
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其中,n為1或2或3,所述的R選擇甲基、苯基、乙基、丁基中的任意一種或兩種以上;反應溫度為-80℃~150℃;反應壓力為?0.1MPa~5Mpa,反應時間為5s~3h。
2.如權利要求1所述的采用無水氯硅烷提純氯化氫的方法,其特征在于,所述的氯硅烷在使用前先進行蒸餾提純處理。
3.如權利要求1或2所述的采用無水氯硅烷提純氯化氫的方法,其特征在于,反應溫度為-40℃~50℃。
4.如權利要求3所述的采用無水氯硅烷提純氯化氫的方法,其特征在于,所述的反應溫度為50℃,壓力為5Mpa,反應時間為6min~3h。
5.如權利要求1所述的采用無水氯硅烷提純氯化氫的方法,其特征在于,所述待處理的氯化氫氣體為含有100-10000ppm的氟化氫的氯化氫氣體。
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