[發明專利]振動片和振子的制造方法、振子、振蕩器以及電子設備有效
| 申請號： | 201310075570.2 | 申請日： | 2013-03-11 |
| 公開（公告）號： | CN103312287B | 公開（公告）日： | 2017-05-31 |
| 發明（設計）人： | 小林淳治 | 申請（專利權）人： | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號： | H03H9/02 | 分類號： | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/19 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司11127 | 代理人： | 李輝,馬建軍 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 振動 制造 方法 振蕩器 以及 電子設備 | ||
1.一種振動片的制造方法，其特征在于，所述振動片的制造方法包含以下步驟：
準備旋轉Y切石英基板；
在所述石英基板的+Y′軸側的主面上配置第1掩模，在-Y′軸側的主面上以相對于所述第1掩模向+Z′軸側偏移的方式配置第2掩模，隔著所述第1掩模和所述第2掩模對所述石英基板進行蝕刻，由此在所述石英基板上形成包含振動部和薄壁部的臺面型基板，所述振動部包含向+Y′軸側突出的第1凸部和向-Y′軸側突出的第2凸部，所述薄壁部沿著所述振動部的外緣配置，厚度比所述振動部的厚度薄；以及
在所述臺面型基板上形成導體圖案，
當設所述第1掩模和所述第2掩模的Z′軸方向的偏移量為D，設從所述薄壁部的+Y′軸側的主面到所述第1凸部的主面的高度與從所述薄壁部的-Y′軸側的主面到所述第2凸部的主面的高度之和為t時，
所述D與所述t的關系滿足0＜D≤t/2。
2.根據權利要求1所述的振動片的制造方法，其特征在于，
所述第1掩模的+Z′軸側的端部相對于所述臺面型基板的Z′軸方向的中心位于+Z′軸側，
所述第2掩模的-Z′軸側的端部相對于所述臺面型基板的Z′軸方向的中心位于-Z′軸側。
3.根據權利要求1或2所述的振動片的制造方法，其特征在于，
連接所述第1凸部的主面的+Z′軸側的端部和所述薄壁部的側面與所述第1凸部的主面垂直，
連接所述第2凸部的主面的-Z′軸側的端部和所述薄壁部的側面與所述第2凸部的主面垂直。
4.根據權利要求1或2所述的振動片的制造方法，其特征在于，
所述石英基板是AT切石英基板。
5.一種振子的制造方法，其特征在于，所述振子的制造方法包含將權利要求1或2所述的振動片收納到封裝中的步驟。
6.一種振動片，其特征在于，所述振動片包含：
旋轉Y切石英基板，該旋轉Y切石英基板包含：振動部，其包含向+Y′軸側突出的第1凸部和向-Y′軸側突出的第2凸部；以及薄壁部，其沿著所述振動部的外緣配置，厚度比所述振動部的厚度??；以及
導體圖案，其配置于所述石英基板，
設所述第1凸部距離所述薄壁部的高度與所述第2凸部距離所述薄壁部的高度之和為t，
在所述Y′軸方向上的平面視中，
設所述第1凸部的主面的+Z′軸側的端部與所述第2凸部的主面的+Z′軸側的端部之間的距離為D1時，
所述D1和所述t的關系滿足0＜D1≤t/2，
并且，在所述Y′軸方向上的平面視中，
設所述第1凸部的主面的-Z′軸側的端部與所述第2凸部的主面的-Z′軸側的端部之間的距離為D2時，
所述D2和所述t的關系滿足0＜D2≤t/2。
7.一種振子，其特征在于，所述振子具有：
權利要求6所述的振動片；以及
收納所述振動片的封裝。
8.一種振蕩器，其特征在于，所述振蕩器具有：
權利要求6所述的振動片；以及
與所述振動片電連接的振蕩電路。
9.一種電子設備，其特征在于，所述電子設備具有權利要求6所述的振動片。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于精工愛普生株式會社，未經精工愛普生株式會社許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201310075570.2/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
