[發(fā)明專利]壓力傳感器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310073745.6 | 申請日： | 2013-03-08 |
| 公開（公告）號： | CN103308246A | 公開（公告）日： | 2013-09-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 內(nèi)山武;新荻正隆 | 申請（專利權(quán)）人： | 精工電子有限公司 |
| 主分類號： | G01L13/06 | 分類號： | G01L13/06 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 何欣亭;李浩 |
| 地址： | 日本千葉*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 壓力傳感器 | ||
1.?一種壓力傳感器，其特征在于，包括：
第一壓力變動傳感器和第二壓力變動傳感器；以及
檢測部，檢測所述第一壓力變動傳感器和所述第二壓力變動傳感器的輸出的差值，
所述第一壓力變動傳感器和所述第二壓力變動傳感器分別具有：
腔，由開口構(gòu)成；
懸臂，形成為在從基端側(cè)朝向前端側(cè)的方向延伸的板狀，具有在所述腔的開口端以懸臂狀態(tài)被支持的基端部和由自由端構(gòu)成的前端部，根據(jù)所述腔的內(nèi)部與外部的壓力差而彎曲變形；
間隙，設(shè)在所述懸臂的所述前端部與所述腔的開口端之間，將所述腔的內(nèi)部與外部連通；以及
變形檢測部，檢測所述懸臂的彎曲變形并輸出檢測結(jié)果的信號，
所述第一壓力變動傳感器和所述第二壓力變動傳感器具有至少根據(jù)所述腔的容量或者所述間隙的距離而互不相同的頻率特性。
2.?如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，
所述頻率特性是所述第一壓力變動傳感器和所述第二壓力變動傳感器的靈敏度為既定值以上的下限頻率的特性。
3.?如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，
所述第一壓力變動傳感器和所述第二壓力變動傳感器配置為，在所述懸臂的延伸方向使一個所述懸臂的所述前端部與另一個所述懸臂的所述基端部對置而相鄰。
4.?如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，
所述第一壓力變動傳感器和所述第二壓力變動傳感器配置為，在所述懸臂的延伸方向使相互的所述懸臂的所述前端部彼此對置而相鄰。
5.?如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，
所述變形檢測部在由半導(dǎo)體材料形成的所述懸臂的所述基端部，包括通過雜質(zhì)的摻雜而形成的壓電電阻。
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