[發(fā)明專利]一種三氯氫硅合成工段渣漿處理裝置及其使用方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310072863.5
• 申請日: 2013-03-07
• 公開（公告）號: CN103145132A
• 公開（公告）日: 2013-06-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 谷雙;鄧新貴;王啟海;朱寶毅;陳惟勤;李俊;劉芳;彭潔;何超睿;歐陽啟文;劉慎華
• 申請（專利權(quán)）人: 江西景德半導(dǎo)體新材料有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種三氯氫硅合成工段渣漿處理裝置，包括移動罐（1）、列管式換熱器（2）、蒸汽導(dǎo)入管道（3）、氮氣導(dǎo)入管道一（4）、蒸汽和凝液導(dǎo)出管道（5）、氮氣導(dǎo)出管道一（6）、氯硅烷氣體導(dǎo)出管道（7）、溫度表一（10）、壓力表一（11）、溫度表二（12）、過濾器（13）、壓力表二（15）、移動罐導(dǎo)入管道（17）、連接法蘭（18），其特征在于：所述列管式換熱器（2）頂部設(shè)置有蒸汽導(dǎo)入管道（3）和氮氣導(dǎo)入管道一（4），底部設(shè)置有蒸汽和凝液導(dǎo)出管道（5）和氮氣導(dǎo)出管道一（6），所述氮氣導(dǎo)出管道一（6）通過連接法蘭（18）與移動罐導(dǎo)入管道（17）相連；所述移動罐（1）頂部設(shè)置有氯硅烷氣體導(dǎo)出管道（7）和壓力表二（15），所述氯硅烷氣體導(dǎo)出管道（7）上設(shè)置有過濾器（13）和溫度表二（12）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三氯氫硅合成工段渣漿處理裝置，其特征在于：所述移動罐導(dǎo)入管道（17）上設(shè)置有導(dǎo)氣孔（16）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三氯氫硅合成工段渣漿處理裝置，其特征在于：所述過濾器（13）上設(shè)置有壓差計（14），所述氯硅烷氣體導(dǎo)出管道（7）上設(shè)置有氮氣導(dǎo)入管道二（8）和氮氣導(dǎo)出管道二（9）。

4.一種權(quán)利要求1-3任一所述三氯氫硅合成工段渣漿處理裝置的使用方法，其特征在于包括如下步驟：

第一步：首先通過列管式換熱器（2）將蒸汽導(dǎo)入管道（3）導(dǎo)入的飽和蒸汽和氮氣導(dǎo)入管道一（4）導(dǎo)入的氮氣進(jìn)行換熱，然后通過氮氣導(dǎo)出管道一（6）和移動罐導(dǎo)入管道（17）將高溫氮氣輸送到移動罐（1）內(nèi)；

第二步：所述高溫氮氣與移動罐（1）內(nèi)的氯硅烷充分接觸后將其氣化，然后通過氯硅烷氣體導(dǎo)出管道（7）將其導(dǎo)出移動罐（1）；

第三步：通過氯硅烷氣體導(dǎo)出管道（7）上設(shè)置的過濾器（13）對氯硅烷氣體攜帶的少量細(xì)硅粉進(jìn)行過篩處理；

第四步：通過觀察過濾器（13）上壓差計（14）的讀數(shù)變化，利用氮氣導(dǎo)入管道二（8）和氮氣導(dǎo)出管道二（9）對過濾器（13）進(jìn)行反向吹洗，以防止過濾器（13）堵塞；

第五步：當(dāng)溫度表一（10）顯示的溫度與溫度表二（12）顯示的溫度相同時，移動罐（1）內(nèi)的氯硅烷渣漿處理完畢。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的三氯氫硅合成工段渣漿處理裝置的使用方法，其特征在于：所述飽和蒸汽的壓力為0.2Mpa，氮氣的壓力為0.2Mpa。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的三氯氫硅合成工段渣漿處理裝置的使用方法，其特征在于：所述移動罐（1）的最大設(shè)計壓力為0.2Mpa。