[發(fā)明專利]聲表面波諧振器無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310072277.0 | 申請日: | 2013-03-07 |
| 公開(公告)號: | CN103117728A | 公開(公告)日: | 2013-05-22 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 惠國華;陳丹妮;尹芳緣 | 申請(專利權(quán))人: | 浙江工商大學(xué) |
| 主分類號: | H03H9/25 | 分類號: | H03H9/25 |
| 代理公司: | 杭州裕陽專利事務(wù)所(普通合伙) 33221 | 代理人: | 應(yīng)圣義 |
| 地址: | 310035 浙江*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 表面波 諧振器 | ||
1.?一種聲表面波諧振器,其特征在于,包括:
壓電基片,為ST切型石英;
叉指換能器,刻蝕于所述壓電基片,叉指換能器發(fā)出433.92MHz的中心頻率,周期節(jié)長度M=7.2μm,叉指寬度a=1.9μm,叉指間距b=1.7μm,指條對數(shù)N=100,聲孔徑W=720μm,叉指指條的鋁條厚度H=200nm;
兩個反射柵,分別刻蝕于所述叉指換能器的兩側(cè),每側(cè)的反射柵指條數(shù)目Nref=200,兩側(cè)的反射柵與叉指換能器之間的距離s=9.0μm;
兩個吸聲件,分別設(shè)置于所述兩個反射柵遠(yuǎn)離所述叉指換能器的一側(cè)。
2.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲表面波諧振器,其特征在于,所述聲表面波諧振器是單端口聲表面波諧振器。
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