[發明專利]一種介質阻擋放電的光譜檢測方法及裝置

無效

• 申請號: 201310070776.6
• 申請日: 2013-03-06
• 公開（公告）號: CN103149195A
• 公開（公告）日: 2013-06-12
• 發明（設計）人: 洪陵成;張歡
• 申請（專利權）人: 河海大學
• 主分類號: G01N21/67
• 分類號: G01N21/67
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 李紀昌

1.一種介質阻擋放電的光譜檢測方法,其特征在于檢測方法包括以下步驟：

???a.啟動：將載氣從載氣入口通入放電腔，打開高頻高壓電源進行放電，介質阻擋放電形成等離子體；

???b.進樣：將樣品蒸汽通過載氣從載氣入口通入放電腔；

???c.檢測：調整發光器，使發光器與絕緣介質層成傾斜角A；打開發光器產生入射光，入射光以傾斜角A射入放電腔，并射向反射鏡，入射光在放電腔內經反射鏡多次反射后射出,射出光被檢測器接收，記錄檢測信號。

2.根據權利要求1所述的檢測方法，其特征在于：所述載氣流速為10~2000ml/min。

3.根據權利要求1所述的檢測方法，其特征在于：所述高頻高壓電源電壓為220V~30KV,頻率為50HZ~50MHZ。

4.根據權利要求1所述的方法：其特征在于：所述發光器采用空心陰極燈、無極放電燈、ICP和激光中的一種。

5.根據權利要求1所述的檢測方法，其特征在于：所述傾斜角A：0°＜A＜90°。

6.一種介質阻擋放電的光譜檢測裝置，包括發光器（9）、介質阻擋放電裝置和檢測器（10），其特征在于：所述介質阻擋放電裝置由絕緣放電腔組成，腔壁上設有載氣入口（4）和載氣出口（5）；所述放電腔兩個相對的腔壁由絕緣介質層（7）組成，所述兩個絕緣介質層（7）的外側均緊貼有電極板（8），電極板（8）通過導線與高頻高壓電源相連接，所述兩個絕緣介質層（7）之間形成介質阻擋放電通道；所述放電腔還設有兩個平行的反光層（6），兩個平行的反光層（6）分別位于兩個絕緣介質層（7）與電極板（8）連接處，所述反光層（6）與絕緣介質層（7）組成可使入射光在放電腔內形成多次反射的反射鏡；所述發光器（9）與絕緣介質層（7）成傾斜角A。

7.根據權利要求6所述的檢測裝置，其特征在于：所述絕緣介質層材料為耐熱玻璃、石英、陶瓷、有機玻璃或耐熱塑料。

8.根據權利要求6所述的檢測裝置，其特征在于：所述絕緣介質層厚度為0.5~4mm，絕緣介質層間距離為0.2~8mm。