[發明專利]用于浸沒式光刻機的氣密封和氣液減振回收裝置

有效

• 申請號: 201310070625.0
• 申請日: 2013-03-06
• 公開（公告）號: CN103176368A
• 公開（公告）日: 2013-06-26
• 發明（設計）人: 傅新;馬穎聰;陳文昱;徐寧
• 申請（專利權）人: 浙江大學
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 林懷禹

1.一種用于浸沒式光刻機的氣密封和氣液減振回收裝置，在浸沒式光刻機中的投影物鏡組（1）和硅片（3）之間裝有的氣密封和氣液減振回收裝置；其特征在于：所述氣密封和氣液減振回收裝置包括密封和注液回收裝置（2）、多孔介質（4）；密封和注液回收裝置（2）由浸沒單元上端蓋（2A）、浸沒單元中間體（2B）、浸沒單元下端蓋（2C）和浸沒單元下端蓋配件（2D）組成；其中：

1）浸沒單元上端蓋（2A）：

在浸沒單元上端蓋（2A）開有中心通孔，在浸沒單元上端蓋（2A）的中心通孔向外的六個同心圓上分別依次開有兩個對稱的注液槽（5A），兩個對稱的緩沖槽（6A）、兩個液體回收槽（7A）、兩個內密封注氣槽（8A）、兩個中密封注氣槽（9A）、兩個外密封注氣槽（10A）；

兩個注液槽（5A）、兩個液體回收槽（7A）、兩個內密封注氣槽（8A）、兩個中密封注氣槽（9A）、兩個外密封注氣槽（10A）均分別與各自的孔道連接，各孔道又通過螺紋連接的方式與外部管路相連接，外部管路包括液體注入管路、液體回收管路、氣體注入管路，分別完成浸沒單元的液體注入與回收、氣體注入功能；

2）浸沒單元中間體（2B）：

在浸沒單元中間體（2B）開有中心通孔，在浸沒單元中間體（2B）的中心通孔向外依次有兩個對稱的浸沒單元中間體注液腔（5B）、第一O型圈用溝槽（11B）、六個對稱分布的浸沒單元中間體緩沖腔（6B）、兩個對稱的浸沒單元中間體液體回收腔（7B）、第二O型圈用溝槽（12B）、六個對稱的浸沒單元中間體內密封注氣腔（8B）、第三O型圈用溝槽（13B）、六個對稱的浸沒單元中間體中密封注氣腔（9B）、第四O型圈用溝槽（14B）、六個對稱的浸沒單元中間體外密封注氣腔（10B）和第五O型圈用溝槽（15B）；中心通孔與兩個對稱的浸沒單元中間體注液腔（5B）之間有凸起臺階（16B）；浸沒單元中間體緩沖腔（6B）與浸沒單元中間體液體回收腔（7B）之間有個凸起的斜面臺階（17B）；

3）浸沒單元下端蓋（2C）：

在浸沒單元前端蓋（2C）開有中心通孔，浸沒單元前端蓋（2C）的中心通孔向外依次有注液用臺階（18C）、第六O型圈用溝槽（11C）、浸沒單元下端蓋緩沖腔（6C）、回收用斜面（19C）、第七O型圈用溝槽（12C）、浸沒單元下端蓋內密封注氣腔（8C）、第八O型圈用溝槽（13C）、浸沒單元下端蓋中密封注氣腔（9C）、第九O型圈用溝槽（14C）、浸沒單元下端蓋外密封注氣腔（10C）和第十O型圈用溝槽（15C）；注液用臺階（18C）與凸起臺階（16B）配合形成浸沒單元下端蓋注液腔；浸沒單元下端蓋緩沖腔（6C）內開有二十五個均勻分布的腰子槽；回收用斜面（19C）與凸起的斜面臺階（17B）配合形成浸沒單元下端蓋液體回收腔（7C）；第七O型圈用溝槽（12C）與浸沒單元下端蓋內密封注氣腔（8C）聯通，形成一個氣體壓力緩沖腔，緩沖腔內開有內注氣孔陣列（20C）；第八O型圈用溝槽（13C）與浸沒單元下端蓋中密封注氣腔（9C）聯通，形成一個氣體壓力緩沖腔，緩沖腔內開有中注氣孔陣列（21C）；第九O型圈用溝槽（14C）與浸沒單元下端蓋外密封注氣腔（10C）聯通，形成一個氣體壓力緩沖腔，緩沖腔內開有外注氣孔陣列（22C）；

4）浸沒單元下端蓋配件（2D）：

在浸沒單元下端蓋配件（2D）開有中心通孔，浸沒單元下端蓋配件（2D）的中心通孔向外有一氣密封用斜面（23?D）；

所述的浸沒單元下端蓋配件（2D）上端面與浸沒單元下端蓋（2C）下端面，浸沒單元下端蓋（2C）上端面與浸沒單元中間體（2B）下端面，浸沒單元中間體（2B）上端面與浸沒單元上端蓋（2A）下端面相配合，并通過螺釘緊固連接；

3）多孔介質（4）：

有多孔介質（4）填充在浸沒單元下端蓋緩沖腔（6C）內。

2.根據權利要求1所述的一種用于浸沒式光刻機的氣密封和氣液減振回收裝置，其特征在于：所述的兩個注液槽（5A）分別與各自的浸沒單元中間體注液腔（5B）和浸沒單元下端蓋注液腔相通；兩個液體回收槽（7A）分別與各自的浸沒單元中間體液體回收腔（7B）、浸沒單元下端蓋液體回收腔（7C）相連，并最終與浸沒單元下端蓋緩沖腔（6C）相連；兩個內密封注氣槽（8A）均與浸沒單元中間體內密封注氣腔（8B）、浸沒單元下端蓋內密封注氣腔（8C）和內注氣孔陣列（20C）相通；兩個中密封注氣槽（9A）均與浸沒單元中間體中密封注氣腔（9B）、浸沒單元下端蓋中密封注氣腔（9C）和中注氣孔陣列（21C）相通；兩個外密封注氣槽（10A）均與浸沒單元中間體外密封注氣腔（10B）、浸沒單元下端蓋外密封注氣腔（10C）和外注氣孔陣列（22C）相通。