[發明專利]用于生產硅錠的方法在審
| 申請號: | 201310070431.0 | 申請日: | 2013-03-06 |
| 公開(公告)號: | CN103305902A | 公開(公告)日: | 2013-09-18 |
| 發明(設計)人: | D·奧利沃爾;M·特萊姆帕;C·賴曼 | 申請(專利權)人: | 太陽世界創新有限公司;弗朗霍夫應用科學研究促進協會 |
| 主分類號: | C30B11/00 | 分類號: | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 北京市中咨律師事務所 11247 | 代理人: | 吳鵬;馬江立 |
| 地址: | 德國薩*** | 國省代碼: | 德國;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 生產 方法 | ||
1.一種用于生產硅錠的方法,所述方法包括如下的步驟:
-提供用于接收熔融硅(3)的容器(2),所述容器具有
--垂直于軸向延伸的基壁(5),以及
--側壁(6),
-提供至少一個扁平單晶籽晶(7),所述籽晶(7)具有從<110>、<100>和<111>取向的組中選出的軸向取向,
-在所述容器(2)的基壁(5)上設置所述至少一個籽晶(7),以及
-從所述至少一個籽晶(7)開始將所述容器(2)中的熔融硅(3)定向固化以形成硅錠,
-其中,所述至少一個籽晶(7)的軸向取向預先確定用于所述硅錠的軸向取向,以及
-其中,所述至少一個籽晶(7)以如下的方式構造和設置在所述容器(2)的基壁(5)上,使得避免在鄰接所述側壁(6)和延伸到所述容器(2)內部的邊緣區域形成孿晶。
2.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,在所述容器(2)的基壁(5)上設置大量籽晶(7)。
3.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,以如下的方式設置所述籽晶(7),使得所述籽晶(7)整體在垂直于所述軸向的平面內具有總長為L的周邊,該周邊的所有如下部分的長度之和與該周邊的總長之比至多為1:4:屬于該部分的所述籽晶(7)的<111>晶面法線在上述平面中的投影垂直于最近的上切割緣(15)和側壁(6)中的至少一個。
4.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,所述籽晶(7)具有由切割緣(15,16)限定的至少一個籽晶切割面(13,14),所有外切割緣(15,16)各與{111}晶面和相應籽晶切割面(13,14)的切割線(19)成至少5°的角度。
5.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,所有所述籽晶(7)以如下的方式來設置,使得所述籽晶(7)具有橫向<110>取向,所述橫向<110>取向與籽晶(7)的所有切割緣(15)或側壁(6)所成的角度在15°至75°的范圍內。
6.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,當使用軸向<110>取向時,所有所述籽晶(7)具有橫向<110>取向,所述橫向<110>取向與由籽晶(7)的所有外切割緣(15)和側壁(6)組成的組中的一個所成的角度不等于0°。
7.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,當使用軸向<110>取向時,所有所述籽晶(7)具有橫向<110>取向,所述橫向<110>取向與由籽晶(7)的所有外切割緣(15)和側壁(6)組成的組中的一個所成的角度等于45°。
8.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,當使用軸向<110>取向時,所有所述籽晶(7)具有橫向<110>取向,所述橫向<110>取向與由籽晶(7)的所有外切割緣(15)和側壁(6)組成的組中的一個所成的角度不等于90°。
9.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,當使用軸向<100>取向時,所有所述籽晶(7)具有橫向<110>取向,所述橫向<110>取向與由籽晶(7)的所有外切割緣(15)和側壁(6)組成的組中的一個所成的角度不等于90°。
10.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,當使用軸向<100>取向時,所有所述籽晶(7)具有橫向<110>取向,所述橫向<110>取向與由籽晶(7)的所有外切割緣(15)和側壁(6)組成的組中的一個所成的角度等于45°。
11.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,當使用軸向<111>取向時,所有所述籽晶(7)具有橫向<110>取向,所述橫向<110>取向與由籽晶(7)的所有外切割緣(15)和側壁(6)組成的組中的至少一個所成的角度不等于90°并且也不等于0°。
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