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[發明專利]用于生產硅錠的方法在審

專利信息
申請號: 201310070431.0 申請日: 2013-03-06
公開(公告)號: CN103305902A 公開(公告)日: 2013-09-18
發明(設計)人: D·奧利沃爾;M·特萊姆帕;C·賴曼 申請(專利權)人: 太陽世界創新有限公司;弗朗霍夫應用科學研究促進協會
主分類號: C30B11/00 分類號: C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247 代理人: 吳鵬;馬江立
地址: 德國薩*** 國省代碼: 德國;DE
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 用于 生產 方法
【權利要求書】:

1.一種用于生產硅錠的方法,所述方法包括如下的步驟:

-提供用于接收熔融硅(3)的容器(2),所述容器具有

--垂直于軸向延伸的基壁(5),以及

--側壁(6),

-提供至少一個扁平單晶籽晶(7),所述籽晶(7)具有從<110>、<100>和<111>取向的組中選出的軸向取向,

-在所述容器(2)的基壁(5)上設置所述至少一個籽晶(7),以及

-從所述至少一個籽晶(7)開始將所述容器(2)中的熔融硅(3)定向固化以形成硅錠,

-其中,所述至少一個籽晶(7)的軸向取向預先確定用于所述硅錠的軸向取向,以及

-其中,所述至少一個籽晶(7)以如下的方式構造和設置在所述容器(2)的基壁(5)上,使得避免在鄰接所述側壁(6)和延伸到所述容器(2)內部的邊緣區域形成孿晶。

2.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,在所述容器(2)的基壁(5)上設置大量籽晶(7)。

3.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,以如下的方式設置所述籽晶(7),使得所述籽晶(7)整體在垂直于所述軸向的平面內具有總長為L的周邊,該周邊的所有如下部分的長度之和與該周邊的總長之比至多為1:4:屬于該部分的所述籽晶(7)的<111>晶面法線在上述平面中的投影垂直于最近的上切割緣(15)和側壁(6)中的至少一個。

4.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,所述籽晶(7)具有由切割緣(15,16)限定的至少一個籽晶切割面(13,14),所有外切割緣(15,16)各與{111}晶面和相應籽晶切割面(13,14)的切割線(19)成至少5°的角度。

5.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,所有所述籽晶(7)以如下的方式來設置,使得所述籽晶(7)具有橫向<110>取向,所述橫向<110>取向與籽晶(7)的所有切割緣(15)或側壁(6)所成的角度在15°至75°的范圍內。

6.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,當使用軸向<110>取向時,所有所述籽晶(7)具有橫向<110>取向,所述橫向<110>取向與由籽晶(7)的所有外切割緣(15)和側壁(6)組成的組中的一個所成的角度不等于0°。

7.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,當使用軸向<110>取向時,所有所述籽晶(7)具有橫向<110>取向,所述橫向<110>取向與由籽晶(7)的所有外切割緣(15)和側壁(6)組成的組中的一個所成的角度等于45°。

8.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,當使用軸向<110>取向時,所有所述籽晶(7)具有橫向<110>取向,所述橫向<110>取向與由籽晶(7)的所有外切割緣(15)和側壁(6)組成的組中的一個所成的角度不等于90°。

9.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,當使用軸向<100>取向時,所有所述籽晶(7)具有橫向<110>取向,所述橫向<110>取向與由籽晶(7)的所有外切割緣(15)和側壁(6)組成的組中的一個所成的角度不等于90°。

10.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,當使用軸向<100>取向時,所有所述籽晶(7)具有橫向<110>取向,所述橫向<110>取向與由籽晶(7)的所有外切割緣(15)和側壁(6)組成的組中的一個所成的角度等于45°。

11.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,當使用軸向<111>取向時,所有所述籽晶(7)具有橫向<110>取向,所述橫向<110>取向與由籽晶(7)的所有外切割緣(15)和側壁(6)組成的組中的至少一個所成的角度不等于90°并且也不等于0°。

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