[發明專利]微機械聲變換器裝置和相應的制造方法有效
| 申請號： | 201310067550.0 | 申請日： | 2013-03-04 |
| 公開（公告）號： | CN103313172B | 公開（公告）日： | 2019-03-15 |
| 發明（設計）人： | R.埃倫普福特;M.布呂恩德爾;A.格拉赫;C.萊嫩巴赫;S.克尼斯;A.法伊;U.肖爾茨 | 申請（專利權）人： | 羅伯特·博世有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/00 | 分類號： | H04R19/00;H04R1/00;B81C1/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 臧永杰;王忠忠 |
| 地址： | 德國斯*** | 國省代碼： | 德國;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微機 變換器 裝置 相應 制造 方法 | ||
1.具有電印制電路板（1）的微機械聲變換器裝置，所述電印制電路板具有前側（VS）和背側（RS）；
其中在所述前側（VS）上以倒裝芯片方法施加微機械聲變換器結構（3）；并且
其中所述電印制電路板（1）在所述微機械聲變換器結構（3）的區域中具有用于放射出聲波（S）的開口（5），并且
其中將ASIC芯片（2）以倒裝芯片方法施加到所述電印制電路板（1）的前側（VS）上，
其中所述微機械聲變換器結構（3）具有第一結構高度（h1）并且其中在所述微機械聲變換器結構（3）的外圍設置有小焊球（7），所述小焊球具有第二結構高度（h2），該第二結構高度高于第一結構高度（h1）。
2.根據權利要求1所述的微機械聲變換器裝置，其中所述開口（5）在所述背側（RS）上通過保護膜（6）機械地封閉。
3.根據權利要求1或2所述的微機械聲變換器裝置，其中在實施前側（VS）上，在所述電印制電路板（1）和所述微機械聲變換器結構（3）之間設置有環繞的保護環（4b）。
4.根據權利要求1所述的微機械聲變換器裝置，其中所述電印制電路板（1）通過所述小焊球（7）與設備板（10）連接。
5.根據權利要求2所述的微機械聲變換器裝置，其中所述保護膜（6）由聚酯薄膜構成。
6.用于制造微機械聲變換器裝置的方法，具有步驟：
提供具有前側（VS）和背側（RS）和具有開口（5）的電印制電路板（1）；
以倒裝芯片方法將微機械聲變換器結構（3）施加到所述電印制電路板（1）的前側（VS）上，使得所述開口（5）處于所述微機械聲變換器結構（3）的區域中，
其中將ASIC芯片（2）以倒裝芯片方法施加在所述電印制電路板（1）的前側（VS）上，
其中所述微機械聲變換器結構（3）具有第一結構高度（h1）并且其中在所述微機械聲變換器結構（3）的外圍設置有小焊球（7），所述小焊球具有第二結構高度（h2），該第二結構高度高于第一結構高度（h1）。
7.根據權利要求6所述的用于制造微機械聲變換器裝置的方法，其中在所述電印制電路板（1）的背側（RS）上用保護膜（6）封閉所述開口（5）。
8.根據權利要求6所述的用于制造微機械聲變換器裝置的方法，其中所述電印制電路板（1）通過所述小焊球（7）與設備板（10）連接。
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