[發(fā)明專利]一種低溫雙層隔離補償式MEMS微波功率傳感器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310066826.3 | 申請日： | 2013-03-01 |
| 公開（公告）號： | CN103197137A | 公開（公告）日： | 2013-07-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 廖小平;周銳 | 申請（專利權(quán)）人： | 東南大學 |
| 主分類號： | G01R21/02 | 分類號： | G01R21/02;G01R3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標事務(wù)所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210096 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 低溫 雙層 隔離 補償 mems 微波 功率 傳感器 | ||
1.一種低溫雙層隔離補償式MEMS微波功率傳感器，包括微波功率傳感器一(A)、微波功率傳感器二(B)、微波功率傳感器三(C)，其特征在于，在微波功率傳感器一(A)外圍設(shè)有位于內(nèi)側(cè)的內(nèi)隔離環(huán)(8)和位于外側(cè)的外隔離環(huán)(7)，在所述內(nèi)隔離環(huán)(8)內(nèi)側(cè)還設(shè)有第一加熱電路和第二加熱電路；
還包括功率分配器(16)、溫度補償模塊以及運算電路；所述功率分配器(16)將輸入微波功率的三分之一分配給微波功率傳感器三(C)，輸入微波功率的三分之二分配給溫度補償模塊；溫度補償模塊通過運算電路對微波功率傳感器三(C)的輸出電壓進行溫度補償。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低溫雙層隔離補償式MEMS微波功率傳感器，其特征在于，所述溫度補償模塊包括微波功率傳感器二(B)，和被隔離環(huán)(1)包圍的微波功率傳感器一(A)；微波功率傳感器一(A)和微波功率傳感器二(B)各輸入三分之一的輸入微波功率；微波功率傳感器一(A)、微波功率傳感器二(B)和微波功率傳感器三(C)均輸出到運算電路；
所述運算電路包括對微波功率傳感器一(A)和微波功率傳感器二(B)輸出電壓求差的減法器，將減法器輸出電壓與微波功率傳感器三(C)相加的加法器，對加法器輸出信號乘以三的乘法器。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的低溫雙層隔離補償式MEMS微波功率傳感器，其特征在于，所述第一加熱電路包括第二十一熱電阻(21)至第二十四熱電阻(24)，第一加熱電路與開關(guān)十九(19)、外接電源(33)構(gòu)成一個完整回路；所述第二加熱電路包括第二十五熱電阻(25)至第三十二熱電阻(32)，第二加熱電路與開關(guān)二十(20)、外接電源(33)構(gòu)成一個完整回路。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的低溫雙層隔離補償式MEMS微波功率傳感器，其特征在于，所述內(nèi)隔離環(huán)(8)與外隔離環(huán)(7)之間間隔60um距離。
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