[發明專利]太赫茲波導腔體濾波器

無效

• 申請號: 201310066735.X
• 申請日: 2013-03-04
• 公開（公告）號: CN103117438A
• 公開（公告）日: 2013-05-22
• 發明（設計）人: 胡江;張勇;謝善誼
• 申請（專利權）人: 電子科技大學
• 主分類號: H01P1/208
• 分類號: H01P1/208;H01P11/00
• 代理公司: 成都宏順專利代理事務所(普通合伙) 51227
• 代理人: 周永宏

1.太赫茲波導腔體濾波器，由位于上部的上腔體和位于下部的下腔體層疊構成，所述上腔體封蓋在下腔體上并在兩者結合處具有鏤空結構形成的波導腔，所述波導腔位于下腔體內；其特征在于，所述波導腔包括呈長方體的波導輸入段和波導輸出段，位于波導輸入段和波導輸出段之間并且也呈長方體的第一諧振腔、第二諧振腔和第三諧振腔，所述波導輸入段與第一諧振腔之間通過第一感性耦合窗串聯，所述第一諧振腔與第二諧振腔通過第三感性耦合窗串聯，所述第二諧振腔與波導輸出段通過第二感性耦合窗串聯，所述波導輸入段與第三諧振腔之間通過第四感性耦合窗串聯，所述第三諧振腔與波導輸出段之間通過第五感性耦合窗串聯；所述波導輸入段、第一感性耦合窗、第一諧振腔、第三感性耦合窗、第二諧振腔、第二感性耦合窗和波導輸出段依次串聯構成耦合路徑一作為主信號通路；所述波導輸入段、第四感性耦合窗、第三諧振腔、第五感性耦合窗和波導輸出段依次串聯構成耦合路徑二，用于在通帶低端形成一個傳輸零點；所述第一諧振腔、第二諧振腔和第三諧振腔的中間部位具有用以間隔三個諧振腔、波導輸入段和波導輸出段的凸臺。

2.根據權利要求1所述的太赫茲波導腔體濾波器，其特征在于，所述波導腔的波導輸入段和波導輸出段為標準WR2.2矩形波導。

3.根據權利要求1所述的太赫茲波導腔體濾波器，其特征在于，所述波導腔的三個諧振腔空間結構呈長方體。

4.根據權利要求1所述的太赫茲波導腔體濾波器，其特征在于，所述波導腔的五個感性耦合窗空間結構呈長方體。

5.根據權利要求1所述的太赫茲波導腔體濾波器，其特征在于，所述感性耦合窗由位于其兩側的隔墻構成，隔墻的上緣與下腔體的硅質基片表面平齊，隔墻的下緣與下腔體的諧振腔底面平齊。

6.根據權利要求5所述的太赫茲波導腔體濾波器，其特征在于，所述第一感性耦合窗距離波導輸入段的短路端的距離為50±5μm，第二感性耦合窗距離波導輸出段的短路端的距離為50±5μm，第三感性耦合窗距離第一諧振腔的第一感性耦合窗端面的距離為140±5μm，第四感性耦合窗貼緊波導輸入段的短路端，第五感性耦合窗貼緊波導輸出段的短路端。

7.根據權利要求1所述的太赫茲波導腔體濾波器，其特征在于，所述波導腔的平面結構可設計為相對垂直于信號傳輸方向的中心線對稱。

8.根據權利要求1所述的太赫茲波導腔體濾波器，其特征在于，上述波導腔采取在硅質基片上通過蝕刻加工出波導腔的整體結構，再通過濺射鍍金工藝在波導腔結構上鍍覆鍍金層。

9.根據權利要求8所述的太赫茲波導腔體濾波器，其特征在于，所述鍍金層的厚度為2.5~3.5μm。

10.根據權利要求8所述的太赫茲波導腔體濾波器，其特征在于，上述波導腔以空氣為填充介質。