[發明專利]一種集成電路靜電防護性能的測試方法

有效

• 申請號: 201310066664.3
• 申請日: 2013-03-01
• 公開（公告）號: CN104020407A
• 公開（公告）日: 2014-09-03
• 發明（設計）人: 周明杰;王永清
• 申請（專利權）人: 深圳市海洋王照明工程有限公司;海洋王照明科技股份有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

1.一種集成電路靜電防護性能的測試方法，其特征在于，包括：

在第一溫度條件下，將靜電放電發生器設置在第一測試條件下對被測集成電路進行第一工作環境下的靜電放電測試，其中，所述第一測試條件為：將所述靜電放電發生器的輸出電壓設置為第一電壓，所述靜電放電發生器的靜電槍頭接觸所述被測集成電路的一個輸入輸出I/O腳，所述被測集成電路的其余I/O腳接地；

在所述第一工作環境下的靜電放電測試后，檢測所述被測集成電路是否失效；

若所述被測集成電路未失效，則在第一溫度條件下，將所述靜電放電發生器設置在第二測試條件下對所述被測集成電路進行第二工作環境下的靜電放電測試，其中，所述第二測試條件為：將所述靜電放電發生器的輸出電壓設置為第二電壓，所述第二電壓的絕對值大于所述第一電壓，所述靜電放電發生器的靜電槍頭靠近所述被測集成電路的一個I/O腳，所述被測集成電路的其余I/O腳接地；

在所述第二工作環境下的靜電放電測試后，檢測所述被測集成電路是否失效；

若所述被測集成電路未失效，則在第二溫度條件下，將靜電放電發生器分別設置在所述第一測試條件和所述第二測試條件下對被測集成電路進行第三工作環境下的靜電放電測試，其中，所述第二溫度小于所述第一溫度；

在所述第三工作環境下的靜電放電測試后，檢測所述被測集成電路是否失效；

若所述被測集成電路未失效，則在第三溫度條件下，將靜電放電發生器分別設置在所述第一測試條件和所述第二測試條件下對被測集成電路進行第四工作環境下的靜電放電測試，其中，所述第三溫度大于所述第一溫度；

在所述第四工作環境下的靜電放電測試后，檢測所述被測集成電路是否失效；

若所述被測集成電路未失效，則確定所述被測集成電路的靜電防護性能測試通過。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，

所述第一測試條件還包括，將所述靜電放電發生器的靜電放電次數設置為至少兩次，所述靜電放電發生器的放電電容設置為100pf，所述靜電放電發生器的放電電阻設置為1.5KΩ；

所述第二測試條件還包括，將所述靜電放電發生器的靜電放電次數設置為至少兩次，所述靜電放電發生器的放電電容設置為100pf，所述靜電放電發生器的放電電阻設置為1.5KΩ。

3.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，在對所述被測集成電路進行第一工作環境下的靜電放電測試之前，所述方法還包括，

檢測所述被測集成電路的性能是否合格；

若所述被測集成電路性能合格，則觸發所述在第一溫度條件下，將靜電放電發生器設置在第一測試條件下對被測集成電路進行第一工作環境下的靜電放電測試的步驟。

4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述檢測所述被測集成電路的性能是否合格包括：

測試所述被測集成電路每個I/O腳在進行靜電防護性能測試前的漏電流和I-V特性曲線；

若所述靜電防護性能測試前的漏電流和I-V特性曲線在所述集成電路資料手冊給定的參數范圍內，則確定所述被測集成電路的性能合格；

若所述被測集成電路性能合格，則記錄所述每個I/O腳的所述靜電防護性能測試前的漏電流和I-V特性曲線。

5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述檢測所述被測集成電路是否失效，包括：

測試所述被測集成電路每個I/O腳在進行所述第一工作環境下、第二工作環境下、第三工作環境下或第四工作環境下的靜電放電測試后的漏電流和I-V特性曲線；

將每個I/O腳上的所述靜電放電測試后的漏電流和I-V特性曲線分別與所述靜電防護性能測試前的漏電流和I-V特性曲線進行對比；

若每個I/O腳上的所述靜電放電測試后的漏電流與所述測試前的漏電流的差值，所述靜電放電測試后的I-V特性曲線與所述測試前的I-V特性曲線的偏移量都在相應的閾值范圍內，則確定所述被測集成電路未失效。

6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述第一溫度條件為20℃～25℃，所述第二溫度條件為5℃～15℃，所述第三溫度條件為35℃～45℃。

7.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，所述第一電壓為±2KV，所述第二電壓為±4KV。