[發(fā)明專利]一種磁懸浮分子泵徑向保護(hù)軸承檢測裝置及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310066235.6
• 申請日: 2013-03-01
• 公開（公告）號: CN103196671A
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張剴;武涵;李奇志;張小章;鄒蒙
• 申請（專利權(quán)）人: 北京中科科儀股份有限公司;清華大學(xué)
• 主分類號: G01M13/04
• 分類號: G01M13/04
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11250
• 代理人: 寇海俠

1.一種磁懸浮分子泵徑向保護(hù)軸承檢測裝置，其特征在于，包括：

模擬轉(zhuǎn)子（20），由絕緣材料制備，裝入磁懸浮分子泵中，其轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)能帶動(dòng)徑向保護(hù)軸承內(nèi)圈（21）轉(zhuǎn)動(dòng)；

導(dǎo)電部件（22），與所述徑向保護(hù)軸承內(nèi)圈（21）連接；

電容表包括兩個(gè)接線端子，其中第一接線端子與所述導(dǎo)電部件（22）連接，第二接線端子與所述泵體（3）連接；所述電容表測量所述徑向保護(hù)軸承內(nèi)圈（21）與所述泵體（3）之間的電容值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁懸浮分子泵徑向保護(hù)軸承檢測裝置，其特征在于：

所述模擬轉(zhuǎn)子（20）為圓柱體，所述模擬轉(zhuǎn)子與所述徑向保護(hù)軸承內(nèi)圈（21）為過渡配合。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁懸浮分子泵徑向保護(hù)軸承檢測裝置，其特征在于：

所述模擬轉(zhuǎn)子為中空結(jié)構(gòu)，且在所述模擬轉(zhuǎn)子上開設(shè)一通孔；

所述導(dǎo)電部件（22）一端與第一徑向保護(hù)軸承內(nèi)圈或第二徑向保護(hù)軸承內(nèi)圈連接，另一端連接導(dǎo)線，所述導(dǎo)線穿過所述通孔進(jìn)入中空結(jié)構(gòu)后延伸至所述圓柱體之外。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁懸浮分子泵徑向保護(hù)軸承檢測裝置，其特征在于：

所述模擬轉(zhuǎn)子為中空結(jié)構(gòu)，且在所述模擬轉(zhuǎn)子上靠近兩個(gè)底面的兩端分別開設(shè)第一通孔和第二通孔；

所述導(dǎo)電部件（22）為兩個(gè)，其中一個(gè)導(dǎo)電部件一端與第一徑向保護(hù)軸承內(nèi)圈連接，另一端連接導(dǎo)線，所述導(dǎo)線穿過第一通孔進(jìn)入中空結(jié)構(gòu)后延伸至所述模擬轉(zhuǎn)子之外；另一個(gè)導(dǎo)電部件一端與第二徑向保護(hù)軸承內(nèi)圈連接，另一端連接導(dǎo)線，所述導(dǎo)線穿過第二通孔進(jìn)入中空結(jié)構(gòu)后延伸至所述模擬轉(zhuǎn)子之外。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的磁懸浮分子泵徑向保護(hù)軸承檢測裝置，其特征在于：

所述導(dǎo)電部件（22）通過固定件（23）固定于所述模擬轉(zhuǎn)子的內(nèi)壁上。

6.一種磁懸浮分子泵徑向保護(hù)軸承檢測方法，其特征在于，包括如下步驟：

S1．在磁懸浮分子泵出廠前，將轉(zhuǎn)子從磁懸浮分子泵中抽出，插入所述模擬轉(zhuǎn)子，電容表的一個(gè)接線端子通過導(dǎo)電部件（22）與所述徑向保護(hù)軸承內(nèi)圈（21）連接，另一個(gè)接線端子直接與泵體（3）連接；

S2.轉(zhuǎn)動(dòng)所述模擬轉(zhuǎn)子（20），帶動(dòng)徑向保護(hù)軸承內(nèi)圈相對于外圈轉(zhuǎn)動(dòng)數(shù)周，記錄所述電容表測量的所述徑向保護(hù)軸承內(nèi)圈與所述泵體（3）之間電容值的極大值C_max或極小值C_min作為基準(zhǔn)存儲于控制器（2）中的存儲介質(zhì)中；

S3.若所述磁懸浮分子泵在使用過程中，出現(xiàn)轉(zhuǎn)子失穩(wěn)跌落的情況，則在下一次控制所述轉(zhuǎn)子起浮之前，進(jìn)行如下檢測步驟：

S3-1.按照所述步驟S1的方式將所述模擬轉(zhuǎn)子、導(dǎo)電部件和電容表連接；

S3-2.轉(zhuǎn)動(dòng)所述模擬轉(zhuǎn)子，帶動(dòng)所述徑向保護(hù)軸承內(nèi)圈相對于外圈轉(zhuǎn)動(dòng)數(shù)周，記錄所述電容表測量的所述徑向保護(hù)軸承內(nèi)圈與所述泵體（3）之間電容值的極大值C^，_max/極小值C^，_min；

S3-3.獲取所述極大值C^，_max與所述基準(zhǔn)極大值C_max的極大值的比例關(guān)系C₁=C^，_max/C_max；或者所述極小值C^，_min與所述基準(zhǔn)極小值C_min的極小值的比例關(guān)系C₂=C^，_min/C_min；若所述極大值的比例關(guān)系C₁或所述極小值的比例關(guān)系C₂超出閾值，則判定所述徑向保護(hù)軸承失效；否則所述徑向保護(hù)軸承有效。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的磁懸浮分子泵徑向保護(hù)軸承的測方法，其特征在于：所述步驟S3-2中，所述閾值為1.4。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的磁懸浮分子泵徑向保護(hù)軸承的檢測方法，其特征在于：

所述步驟S3-1之前，還包括如下步驟：

S301：記錄所述徑向保護(hù)軸承的可承受失穩(wěn)跌落次數(shù)；

S302：記錄磁懸浮分子泵運(yùn)行過程中所述轉(zhuǎn)子失穩(wěn)跌落的次數(shù)；

S303：比較所述轉(zhuǎn)子失穩(wěn)跌落的次數(shù)是否小于可承受失穩(wěn)跌落次數(shù)，若所述轉(zhuǎn)子失穩(wěn)跌落的次數(shù)小于所述的可承受失穩(wěn)跌落次數(shù)則進(jìn)入所述步驟S3-1；否則直接判定所述徑向保護(hù)軸承失效。