[發明專利]一種紫外多參數校準裝置

有效

• 申請號: 201310065833.1
• 申請日: 2013-03-04
• 公開（公告）號: CN103175677A
• 公開（公告）日: 2013-06-26
• 發明（設計）人: 孫紅勝;王加朋;魏建強;張玉國;李世偉;張虎;孫廣尉
• 申請（專利權）人: 北京振興計量測試研究所
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02;G01J3/28
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及紫外光參數校準技術領域，具體的講是一種紫外多參數校準裝置。

背景技術

紫外波段按照能否在大氣中進行傳播，廣義上分為真空紫外波段(10nm～200nm)和非真空紫外波段(200nm～400nm)。紫外波段的輻射特性不同于可見光和紅外波段，它在空間探測領域具有不可替代的優勢，隨著探月工程、深空探測計劃、以及火星探測等計劃的相續發展，受到越來越多的關注。因此對紫外波段的輻射特性的測量十分必要。

紫外光源、紫外探測器和紫外成像器的參數快速準確校準一直是計量校準領域的難題?，F階段，在進行紫外光源光譜輻射度校準、紫外探測器光譜響應度和紫外成像器參數校準過程中，至少使用三套校準裝置分別對紫外光源、紫外探測器和紫外成像儀進行參數校準，操作系統復雜，龐大、靈活性較差，從合理利用有限空間、接口靈活、多參數共同測量和可擴展性以及有效利用有限資金的角度思考，急需一套紫外多參數共同校準裝置，具有較強的適用性。

發明內容

為了解決現有技術進行紫外光參數校準需要多套設備造成校準試驗成本高，并且試驗效率低的問題，提供了一種紫外多參數校準裝置可以以一臺設備進行紫外多參數校準。

本發明實施例提供了一種紫外多參數校準裝置，

旋轉平臺內置于所述真空倉內，單色儀與真空倉相連接，紫外探測器通過單色儀測量真空倉內的紫外光源的輻射，或者紫外光源通過單色儀向真空倉提供紫外光源的輻射；

標準紫外光源，待校準光源，標準紫外探測器，待校準探測器，紫外成像器和紫外成像參數校準系統均置于所述旋轉平臺之上，所述旋轉平臺根據控制信號沿著所述旋轉平臺的圓心旋轉，其中，所述紫外成像器和紫外成像參數校準系統處于同一光路。

根據本發明實施例所述的一種紫外多參數校準裝置的一個進一步的方面，所述旋轉平臺與標準紫外光源，待校準光源，標準紫外探測器，待校準探測器，紫外成像器和紫外成像參數校準系統的連接接口均具有旋轉電機和平移電機，通過所述旋轉電機和平移電機調節所述標準紫外光源，待校準光源，標準紫外探測器，待校準探測器，紫外成像器和紫外成像參數校準系統的位置和空間姿態。

根據本發明實施例所述的一種紫外多參數校準裝置的再一個進一步的方面，還包括計算機，當進行光源光譜輻射度校準時，所述紫外探測器與所述單色儀相連接，所述旋轉平臺進行旋轉承載著所述標準紫外光源位于光路中，所述標準紫外光源發射出輻射，該標準紫外光源的輻射經過所述單色儀分光后被所述紫外探測器獲取，將該標準紫外光源的光譜響應數據發送給計算機；

所述旋轉平臺進行旋轉承載著所述待校準光源位于光路中，所述待校準光源發射出輻射，該待校準光源的輻射經過所述單色儀分光后被所述紫外探測器獲取，將該待校準光源的光譜響應數據發送給計算機。

根據本發明實施例所述的一種紫外多參數校準裝置的另一個進一步的方面，還包括計算機，當進行紫外探測器光譜響應度校準時，所述紫外光源與所述單色儀相連接，所述旋轉平臺進行旋轉承載著所述標準紫外探測器位于光路中，所述紫外光源發射出的輻射經過單色儀分光后由所述標準紫外探測器接收，所述標準紫外探測器將該紫外光源輻射的光譜響應數據發送給計算機；

所述旋轉平臺進行旋轉承載著所述待校準探測器位于光路中，所述紫外光源發射出的輻射經過單色儀分光后由所述待校準探測器接收，所述待校準探測器將該紫外光源輻射的光譜響應數據發送給計算機。

根據本發明實施例所述的一種紫外多參數校準裝置的另一個進一步的方面，還包括計算機，當進行紫外成像參數校準時，所述紫外光源與所述單色儀相連接，所述旋轉平臺進行旋轉承載著所述紫外成像器和紫外成像參數校準系統處于光路中，所述紫外光源發射出的輻射經過單色儀分光后轉換為一定帶寬的紫外光譜輻射，該一定帶寬的紫外光譜輻射成為所述紫外成像參數校準系統的紫外光源，所述紫外成像參數校準系統投射出紫外標準圖像，所述紫外成像器對所述標準圖像進行接收和探測，并將探測數據發送給所述計算機。

根據本發明實施例所述的一種紫外多參數校準裝置的另一個進一步的方面，所述計算機用于數據計算和比較操作。

根據本發明實施例所述的一種紫外多參數校準裝置的另一個進一步的方面，所述單色儀與所述真空倉采用法蘭連接。

根據本發明實施例所述的一種紫外多參數校準裝置的另一個進一步的方面，所述真空倉控制在1×10^-1pa～1×10^-5pa之間，倉體積控制在0.5m³～10m³之間。