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[發明專利]核殼Si/Fe2O3納米線陣列的制備方法有效

專利信息
申請號: 201310065058.X 申請日: 2013-02-28
公開(公告)號: CN103159501A 公開(公告)日: 2013-06-19
發明(設計)人: 佘廣為;齊小鵬;師文生 申請(專利權)人: 中國科學院理化技術研究所
主分類號: C04B41/50 分類號: C04B41/50;C01G49/06;B81C1/00
代理公司: 上海智信專利代理有限公司 31002 代理人: 李柏
地址: 100190 *** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 核殼 si fe sub 納米 陣列 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種核殼Si/Fe2O3納米線陣列的制備方法,其特征是,所述的制備方法包括以下步驟:

(1)Si納米線的表面吸附Fe(NO)3:將帶有取向垂直于單晶硅片的Si納米線陣列的單晶硅片先在質量濃度為5%的氫氟酸水溶液中進行浸泡,除去Si納米線表面的氧化層;然后再將帶有取向垂直于單晶硅片的Si納米線陣列的單晶硅片放置于含有Fe(NO)3的乙醇溶液中,使Si納米線的表面吸附上Fe(NO)3;

(2)Fe(NO)3高溫熱分解:將步驟(1)得到的帶有表面吸附有Fe(NO)3的Si納米線陣列的單晶硅片置入高溫爐中進行加熱處理,使得Fe(NO)3熱分解為Fe2O3,得到核殼Si/Fe2O3納米線陣列。

2.根據權利要求1所述的制備方法,其特征是:步驟(1)所述的將帶有取向垂直于單晶硅片的Si納米線陣列的單晶硅片放置于含有Fe(NO)3的乙醇溶液中,含有Fe(NO)3的乙醇溶液中Fe(NO)3的濃度為5~800mM。

3.根據權利要求1所述的制備方法,其特征是:步驟(2)所述的進行加熱處理的溫度為400~750℃。

4.根據權利要求1或3所述的制備方法,其特征是:步驟(2)所述的進行加熱處理的時間為1~6小時。

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