[發(fā)明專利]一種利用銀鏡反應(yīng)制備硅表面形貌可控納米銀粒子的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310064543.5
• 申請(qǐng)日: 2013-02-28
• 公開（公告）號(hào): CN103103511A
• 公開（公告）日: 2013-05-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姜冰;李美成;白帆;余航
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 華北電力大學(xué)
• 主分類號(hào): C23C18/44
• 分類號(hào): C23C18/44;C23F1/24;C23F1/02;H01L31/18
• 代理公司: 北京眾合誠成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11246
• 代理人: 薄觀玖

1.一種利用銀鏡反應(yīng)制備硅表面形貌可控納米銀粒子的方法，其特征在于，采用無任何添加劑和控制形狀晶種的銀鏡反應(yīng)，通過控制反應(yīng)溶液濃度和反應(yīng)溫度直接在硅表面制備納米銀粒子，實(shí)現(xiàn)其形貌可控，并利用催化刻蝕工藝實(shí)現(xiàn)硅表面不同納米結(jié)構(gòu)的制備，具體步驟如下：

a.?清洗硅片：將硅片依次用丙酮超聲清洗、去離子水沖洗、CP-4A溶液清洗、去離子水沖洗、質(zhì)量分?jǐn)?shù)為40%的氫氟酸溶液浸泡處理，去離子水沖洗，最后得到清潔的硅表面；所述CP-4A溶液為HF、HNO₃、CH₃COOH和H₂O按體積比3:5:3:22配置的溶液；

b．配置銀氨溶液：在濃度為0.002~0.1?mol/L的硝酸銀溶液中，逐漸滴加濃度為0.3?mol/L的氨水，并不斷攪拌，直至所產(chǎn)生的渾濁溶液逐漸變?yōu)槌吻澹?/p>

c.?在銀氨溶液中滴加濃度為0.005~0.01?mol/L的葡萄糖溶液，同時(shí)放入清洗后的硅片，反應(yīng)時(shí)間為5min；?

d.?反應(yīng)溫度的控制：將銀氨溶液分別置于4?℃、25?℃和60?℃的條件下，采用冰浴和水浴控制溫度，可分別獲得長米狀、短棒狀、多面體狀的銀粒子以及絮狀銀；

e．采用納米銀粒子催化刻蝕：把帶有不同形貌納米銀粒子的硅片在刻蝕液中浸泡3?min，其中刻蝕液采用質(zhì)量分?jǐn)?shù)為40%氫氟酸，質(zhì)量分?jǐn)?shù)為30%的過氧化氫和去離子水配置，三種溶液的體積比為?1：5：2；

f．刻蝕完成后的樣品用去離子水沖洗，可獲得圓孔、密集小孔、凹凸孔和方孔硅納米結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：所述硅片為（100）取向的單晶硅片，其電阻率為7～13?Ω?cm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：所有清洗用溶液和反應(yīng)溶液均為分析純。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：所述去離子水的電阻率為16?Ω·cm以上。