[發明專利]多線放電加工系統、多線放電加工裝置、電源裝置

有效

• 申請號: 201310062458.5
• 申請日: 2013-02-28
• 公開（公告）號: CN103286396A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發明（設計）人: 岡本康寬;岡田晃;栗原治彌
• 申請（專利權）人: 佳能市場營銷日本株式會社;株式會社牧野銑床制作所
• 主分類號: B23H7/02
• 分類號: B23H7/02;B23H7/04;B23H7/14
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 孫蕾

技術領域

涉及多線放電加工系統、多線放電加工裝置、電源裝置、多線放電加工方法、半導體基板、太陽電池基板、基板的制造系統、基板的制造方法。

背景技術

以往，作為用于將硅錠切成大量薄片的裝置，已知有線鋸，但是，存在通過線放電加工將材料加工為薄板的技術。

例如，現有文獻1公開了在一處向3條卷繞的線供電，對半導體錠進行放電加工的技術。

【現有技術文獻】

【專利文獻】

【專利文獻1】日本特開平9-248719號公報

發明內容

但是，在專利文獻1中完全沒有公開用于解決如下問題的方法，即、在多條線和工件之間未均勻且同時產生放電狀態的情況下，在產生了放電狀態的特定的線和工件之間被供給與未產生放電狀態相應的量的過剩的加工電流的問題。

本發明的目的是提供在多條線和工件之間未均勻且同時產生放電狀態的情況下，可防止在產生了放電狀態的特定的線和工件之間被供給與未產生放電狀態相應的量的過剩的加工電流的結構。

本發明是一種多線放電加工系統，以并排設置的多條線的間隔將工件切成薄片，其特征在于，具備：多線放電加工裝置，該多線放電加工裝置具有：移動單元，使上述并排設置的多條線在同一方向移動；供電端子，與移動的上述多條線一并接觸；以及放電部，使通過移動的上述多條線和上述供電端子的接觸而向移動的上述多條線一并供電的加工電源向上述工件進行放電；以及電源裝置，向上述供電端子供給上述加工電源，從上述電源裝置到上述供電端子的電阻值比從上述供電端子到放電部的電阻值小。

另外，其特征在于，從上述電源裝置到上述供電端子的電阻值比0.1Ω小。

另外，其特征在于，從上述供電端子到上述放電部的電阻值比1Ω大。

另外，其特征在于，從上述電源裝置到上述供電端子的電阻值與從上述供電端子到放電部的電阻值之比為10倍以上。

另外，其特征在于，從上述供電端子到上述放電部的電阻值是由上述移動的線形成的電阻。

根據本發明，能夠提供在多條線和工件之間未均勻且同時產生放電狀態的情況下，可防止在產生了放電狀態的特定的線和工件之間被供給與未產生放電狀態相應的量的過剩的加工電流的結構。

附圖說明

圖1是本發明的多線放電加工系統。

圖2是本發明的多線放電加工裝置。

圖3是本發明的供電端子。

圖4是現有技術的電路圖。

圖5是現有技術的多線放電加工裝置。

圖6是本發明的放電脈沖。

圖7是本發明的電路圖。

圖8是本發明的多線放電加工系統。

圖9是對本發明的多線放電加工系統的加工電流與線的條數的相關進行理論計算而得的結果。

圖10是對本發明的多線放電加工系統的監視電流與線的條數的相關進行實測而得的結果。

符號說明

1多線放電加工裝置

2電源裝置

103線電極

104供電端子

105工件(硅錠)

具體實施方式

對圖1進行說明。

圖1是對于本發明的實施方式涉及的多線放電加工機1從前方觀察到的外觀圖。另外，圖1所示的各機構的構成是一個例子，根據目的、用途，當然可以有各種的構成例。

圖1是示出本發明的多線放電加工系統(半導體基板或太陽電池基板的制造系統)的構成的圖。多線放電加工系統包含多線放電加工裝置1、電源裝置2、加工液供給裝置50。

多線放電加工系統可以通過放電，將被加工物按照并排設置的多條線的間隔而切成薄片。

1是多線放電加工裝置，在1中，由伺服電機驅動的工件進給裝置3被設置在線103上部，能夠在上下方向移動工件105。在本發明中，工件105被向下方向運送，在工件105和線103間進行放電加工，但是也可以將工件進給裝置3設置在線103的下部，使工件105向上方向移動。

2是電源裝置，在2中，控制伺服電機的放電伺服控制電路為了根據放電的狀態而高效地使放電發生，控制成使放電間隔保持為一定的間隙，并進行工件定位，使放電加工進行。

加工電源電路(圖7)向線103供給用于放電加工的放電脈沖，并且進行與在放電間隔中發生的短路等的狀態相適應的控制，并向放電伺服控制電路供給放電間隔信號。