[發(fā)明專利]互連電遷移的測(cè)試結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310062231.0
• 申請(qǐng)日: 2013-02-27
• 公開（公告）號(hào): CN103094255A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 尹彬鋒;錢燕妮;李瀚超
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號(hào): H01L23/544
• 分類號(hào): H01L23/544
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 陸花

1.一種互連電遷移的測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：

待測(cè)結(jié)構(gòu)；

引線結(jié)構(gòu)，包括第一引線以及第二引線；

n層自上至下依次層疊的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，位于所述待測(cè)結(jié)構(gòu)和所述引線結(jié)構(gòu)的下層，每一層所述導(dǎo)電結(jié)構(gòu)包括第一通孔結(jié)構(gòu)、第一連接結(jié)構(gòu)、第二通孔結(jié)構(gòu)、第三通孔結(jié)構(gòu)、第二連接結(jié)構(gòu)以及第四通孔結(jié)構(gòu)，其中，n為大于等于2的整數(shù)，所述引線結(jié)構(gòu)和導(dǎo)電結(jié)構(gòu)用于為所述待測(cè)結(jié)構(gòu)提供電流；以及

電介質(zhì)，所述待測(cè)結(jié)構(gòu)、第一引線、第二引線、每一層的第一通孔結(jié)構(gòu)、第一連接結(jié)構(gòu)、第二通孔結(jié)構(gòu)、第三通孔結(jié)構(gòu)、第二連接結(jié)構(gòu)以及第四通孔結(jié)構(gòu)通過(guò)所述電介質(zhì)絕緣間隔。

2.如權(quán)利要求1所述的互連電遷移的測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一引線通過(guò)第一層第一通孔結(jié)構(gòu)與第一層第一連接結(jié)構(gòu)的一端連接，所述第一層第一連接結(jié)構(gòu)的另一端通過(guò)第一層第二通孔結(jié)構(gòu)與所述待測(cè)結(jié)構(gòu)的一端連接，所述待測(cè)結(jié)構(gòu)的另一端通過(guò)第一層第三通孔結(jié)構(gòu)與第一層第二連接結(jié)構(gòu)的一端連接，所述第一層第二連接結(jié)構(gòu)的另一端通過(guò)第一層第四通孔結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu)與所述第二引線連接；所述第m-1層第一連接結(jié)構(gòu)的一端通過(guò)第m層第一通孔結(jié)構(gòu)與第m層第一連接結(jié)構(gòu)的一端連接，所述第m層第一連接結(jié)構(gòu)的另一端通過(guò)第m層第二通孔結(jié)構(gòu)與所述第m-1層第一連接結(jié)構(gòu)的另一端連接，所述第m-1層第二連接結(jié)構(gòu)的另一端通過(guò)第m層第三通孔結(jié)構(gòu)與第m層第二連接結(jié)構(gòu)的一端連接，所述第m層第二連接結(jié)構(gòu)的另一端通過(guò)第m層第四通孔結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu)與所述第m-1層第一連接結(jié)構(gòu)的一端連接，其中，2≤m≤n。

3.如權(quán)利要求1或2所述的互連電遷移的測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一層第二通孔結(jié)構(gòu)和所述第一層第三通孔結(jié)構(gòu)均為一個(gè)通孔。

4.如權(quán)利要求1或2所述的互連電遷移的測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一層第一通孔結(jié)構(gòu)、所述第一層第四通孔結(jié)構(gòu)、第m層第一通孔結(jié)構(gòu)、第m層第二通孔結(jié)構(gòu)、第m層第三通孔結(jié)構(gòu)、第m層第四通孔結(jié)構(gòu)均為兩個(gè)以上并排排列的通孔。

5.如權(quán)利要求1所述的互連電遷移的測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述待測(cè)結(jié)構(gòu)和所述引線結(jié)構(gòu)位于同一層。

6.如權(quán)利要求1所述的互連電遷移的測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一引線和第二引線均為塊狀。

7.如權(quán)利要求6所述的互連電遷移的測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一引線的寬度大于等于所述待測(cè)結(jié)構(gòu)的寬度，所述第二引線的寬度大于等于所述待測(cè)結(jié)構(gòu)的寬度。

8.如權(quán)利要求1所述的互連電遷移的測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，每一層所述導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的第一連接結(jié)構(gòu)和第二連接結(jié)構(gòu)位于同一層。

9.如權(quán)利要求1所述的互連電遷移的測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一連接結(jié)構(gòu)和第二連接結(jié)構(gòu)均為條形。

10.如權(quán)利要求9所述的互連電遷移的測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一連接結(jié)構(gòu)的寬度大于等于所述待測(cè)結(jié)構(gòu)的寬度，所述第二連接結(jié)構(gòu)的寬度大于等于所述待測(cè)結(jié)構(gòu)的寬度。

11.如權(quán)利要求1所述的互連電遷移的測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述待測(cè)結(jié)構(gòu)的材料為金屬，所述引線結(jié)構(gòu)的材料為金屬，導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的材料為金屬。

12.如權(quán)利要求1所述的互連電遷移的測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述電介質(zhì)的材料具有小于等于4.0的介電常數(shù)。

13.如權(quán)利要求12所述的互連電遷移的測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述電介質(zhì)的材料為二氧化硅、氮化硅、氮氧化硅或摻碳的氧化硅中的一種或幾種的組合。