[發(fā)明專利]固體拍攝裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310061506.9
• 申請日: 2013-02-27
• 公開（公告）號: CN103515402A
• 公開（公告）日: 2014-01-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 大石周
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社東芝
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 北京市中咨律師事務(wù)所 11247
• 代理人: 劉瑞東;陳海紅

1.一種固體拍攝裝置，其特征在于，具備：

光電變換元件，其設(shè)置在半導(dǎo)體基板中被元件分離區(qū)域包圍的單位單元區(qū)域內(nèi)；

層間絕緣膜，其設(shè)置在上述半導(dǎo)體基板的第1面?zhèn)龋季€；

濾色器，其設(shè)置在上述半導(dǎo)體基板的與上述第1面相對向的第2面?zhèn)龋?/p>

微透鏡，其在上述半導(dǎo)體基板的上述第2面?zhèn)龋O(shè)置在上述濾色器上；

內(nèi)部透鏡，其在相對于上述半導(dǎo)體基板的第2面的垂直方向上，設(shè)置在上述光電變換元件和上述濾色器之間；以及

遮光層，其設(shè)置在上述半導(dǎo)體基板的上述第2面?zhèn)龋谙鄬τ谏鲜霭雽?dǎo)體基板的第2面的平行方向上與上述內(nèi)部透鏡相鄰，

上述遮光層是包含SiGe的層，

上述遮光層的厚度比上述內(nèi)部透鏡的厚度薄。

2.一種固體拍攝裝置，其特征在于，具備：

光電變換元件，其設(shè)置在半導(dǎo)體基板中被元件分離區(qū)域包圍的單位單元區(qū)域內(nèi)；

層間絕緣膜，其設(shè)置在上述半導(dǎo)體基板的第1面?zhèn)龋季€；

濾色器，其設(shè)置在上述半導(dǎo)體基板的與上述第1面相對向的第2面?zhèn)龋?/p>

微透鏡，其在上述半導(dǎo)體基板的上述第2面?zhèn)龋O(shè)置在上述濾色器上；

內(nèi)部透鏡，其在相對于上述半導(dǎo)體基板的第2面的垂直方向上，設(shè)置在上述光電變換元件和上述濾色器之間；以及

遮光層，其設(shè)置在上述半導(dǎo)體基板的上述第2面?zhèn)龋谙鄬τ谏鲜霭雽?dǎo)體基板的第2面的平行方向上與上述內(nèi)部透鏡相鄰。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固體拍攝裝置，其特征在于，

上述遮光層是包含SiGe的層，上述半導(dǎo)體基板是Si基板。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的固體拍攝裝置，其特征在于，

上述遮光層的厚度比上述內(nèi)部透鏡的厚度薄。

5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的固體拍攝裝置，其特征在于，

上述濾色器側(cè)的上述遮光層的第1尺寸比上述半導(dǎo)體基板側(cè)的上述遮光層的第2尺寸小，

上述濾色器側(cè)的上述內(nèi)部透鏡的第3尺寸比上述半導(dǎo)體基板側(cè)的上述內(nèi)部透鏡的第4尺寸大。