[發明專利]一種超硬納米晶TiN-CN-DLC梯度復合涂層合金鉆頭及其制備方法有效
| 申請號: | 201310061358.0 | 申請日: | 2013-02-27 |
| 公開(公告)號: | CN103056425A | 公開(公告)日: | 2013-04-24 |
| 發明(設計)人: | 楊兵;陳燕鳴;王如意;劉輝東 | 申請(專利權)人: | 武漢大學 |
| 主分類號: | B23B51/00 | 分類號: | B23B51/00;C23C14/06;C23C14/35;C23C14/32 |
| 代理公司: | 武漢科皓知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人: | 張火春 |
| 地址: | 430072 湖*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 納米 tin cn dlc 梯度 復合 涂層 合金 鉆頭 及其 制備 方法 | ||
1.一種超硬納米晶TiN-CN-DLC梯度復合涂層合金鉆頭,其特征在于:所述合金鉆頭的基體表面依次有由結合層、過渡層、耐磨層、減磨層構成的復合涂層,且:
1)結合層為Ti層;
2)過渡層為TiN層;
3)耐磨層為TiN-CN層;
4)減磨層為DLC層。
2.如權利要求1所述的超硬納米晶TiN-CN-DLC梯度復合涂層合金鉆頭,其特征在于:所述復合涂層的厚度為3.9-7.2微米,其中
1)結合層厚度為100-200納米;
2)過渡層厚度為1000-2000納米;
3)耐磨層厚度為2000-4000納米;
4)減磨層厚度為800-1000納米。
3.如權利要求1所述的超硬納米晶TiN-CN-DLCC梯度復合涂層合金鉆頭,其特征在于:所述耐磨層中包含有TiN納米晶和非晶CN,其中TiN納米晶尺寸為5-50納米,非晶CN層厚度為0.1-2nm。
4.一種如權利要求1所述的超硬納米晶TiN-CN-DLC梯度復合涂層合金鉆頭的制備方法,其特征在于:由下述步驟依次形成:?
1)對經過化學清洗的硬質合金刀片進行輝光清洗后,在其表面沉積結合層,該結合層為Ti層;
2)在上步得到的結合層上沉積過渡層,該過渡層為TiN層;
3)在上步得到的支撐層上沉積耐磨層,該耐磨層為TiN-CN層;
4)在上步得到的耐磨層上沉積減磨層,該減磨層為DLC層,自然冷卻,即得。
5.如權利要求4所述的超硬TiN-TiSiN-CN多層交替復合梯度涂層硬質合金刀片的制備方法,其特征在于:
1)所述的輝光清洗的條件為:氬氣和氫氣環境下,溫度為300-500℃;
2)所述結合層的沉積條件為:氣壓0.01-0.06Pa,電壓-1000V到-1200V;
3)所述過渡層的沉積條件為:氮氣環境下,氣壓0.1-0.5Pa,電壓-150V到-250V;
4)所述耐磨層的沉積條件為:氮氣環境下,氣壓0.1-0.5Pa,電壓-100V到-250V;
5)所述減磨層的沉積條件為:氬氣環境下,電壓-50V到-100V、氣壓0.1-0.5Pa。
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