[發明專利]DCS歧化制硅烷的西門子聯產工藝

有效

• 申請號: 201310060284.9
• 申請日: 2013-02-26
• 公開（公告）號: CN103112861A
• 公開（公告）日: 2013-05-22
• 發明（設計）人: 黃國強;陳錦溢;王紅星;王國鋒
• 申請（專利權）人: 天津大學
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201
• 代理人: 王麗

1.DCS歧化制硅烷的西門子聯產工藝，其特征是，在改良西門子法制備多晶硅工藝還原精餾單元（5）后面連接歧化反應單元（6）、硅烷產品精餾單元（7）和二氯二氫硅精餾單元（8）；還原精餾單元（5）得到的高純二氯二氫硅進入歧化反應單元（6）進行歧化反應，歧化反應生產的硅烷中間產品進入硅烷產品精餾單元（7），經過精餾提純得到高純的硅烷產品，剩余的氯硅烷則進入二氯二氫硅精餾單元（8）進行回收利用，二氯二氫硅精餾單元分離得到的二氯二氫硅等低沸物返回歧化反應單元（6）繼續進行歧化反應，而三氯氫硅和少量的四氯化硅則返回還原精餾單元（5）進行提純。

2.如權利要求1所述的工藝，其特征是步驟如下：

1）將原料送入氫化單元（1）反應得到混合氯硅烷；

2）混合氯硅烷通過精餾及反歧化單元（2）獲得高純三氯氫硅產品，四氯化硅則返回氫化單元（1）循環利用；

3）精餾及反歧化單元（2）獲得的高純三氯氫硅產品進入三氯氫硅還原單元（3）生產多晶硅；

4）生產多晶硅過程中產生的尾氣經過還原尾氣回收單元（4），回收得到氯硅烷還原干法回收料；

5）將得到的氯硅烷還原干法回收料經過還原精餾單元（5）進行組分分離，回收的高純三氯氫硅產品返回三氯氫硅還原單元（3）繼續反應，高純二氯二氫硅則進入歧化反應單元（6），四氯化硅返回氫化單元（1）；

6）將獲得的高純二氯二氫硅進入歧化反應單元（6）進行歧化反應生產硅烷中間產品；

7）將步驟6）方法生產的硅烷中間產品通過硅烷產品精餾單元（7）提純得到高純的硅烷產品，塔釜得到混合氯硅烷；

8）將步驟7）得到的混合氯硅烷進入二氯二氫硅精餾單元（8）進行分離，回收的二氯二氫硅和一氯三氫硅返回歧化反應單元（6）繼續進行歧化反應，回收的三氯氫硅和少量四氯化硅返回還原精餾單元（5）進行提純。