[發(fā)明專利]改良西門子法聯(lián)產(chǎn)制備高純硅烷的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310060283.4
• 申請日: 2013-02-26
• 公開（公告）號(hào): CN103112860A
• 公開（公告）日: 2013-05-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃國強(qiáng);王國鋒;王紅星;陳錦溢
• 申請（專利權(quán)）人: 天津大學(xué)
• 主分類號(hào): C01B33/107
• 分類號(hào): C01B33/107;C01B33/04
• 代理公司: 天津市北洋有限責(zé)任專利代理事務(wù)所 12201
• 代理人: 王麗

1.改良西門子法聯(lián)產(chǎn)制備高純硅烷的方法，其特征是改良西門子法制備多晶硅提純歧化工序生成的高純?nèi)葰涔瑁徊糠掷^續(xù)原來路線進(jìn)入還原工序沉積得到多晶硅；一部分進(jìn)入硅烷制備工序，得到高純硅烷產(chǎn)品和副產(chǎn)四氯化硅。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征是硅烷制備工序由一級歧化反應(yīng)器（1）、一級精餾塔（2）、二級精餾塔（3）、二級歧化反應(yīng)器（4）和三級精餾塔（5）組成：高純?nèi)葰涔枋紫冗M(jìn)入一級歧化反應(yīng)器（1），得到反應(yīng)生成的二氯二氫硅、四氯化硅和未反應(yīng)的三氯氫硅，進(jìn)入一級精餾塔（2）；一級精餾塔（2）塔頂?shù)玫蕉榷涔韬腿葰涔柽M(jìn)入二級精餾塔（3），塔釜得到四氯化硅返回氫化工序；二級精餾塔（3）塔頂?shù)玫蕉榷涔柽M(jìn)入二級歧化反應(yīng)器（4），塔釜得到三氯氫硅，進(jìn)入一級反應(yīng)器（1）；經(jīng)過二級反應(yīng)器（4）得到反應(yīng)生成的硅烷、三氯氫硅和未反應(yīng)的二氯二氫硅，進(jìn)入三級精餾塔（5）；三級精餾塔（5）塔頂?shù)玫礁呒児柰楫a(chǎn)品，塔釜得到二氯二氫硅和三氯氫硅，返回二級精餾塔（3）。