[發明專利]石英坩堝、石英坩堝的制造方法及鑄造裝置在審
| 申請號: | 201310057919.X | 申請日: | 2013-02-25 |
| 公開(公告)號: | CN103290473A | 公開(公告)日: | 2013-09-11 |
| 發明(設計)人: | 二田伸康;中田嘉信 | 申請(專利權)人: | 三菱綜合材料株式會社 |
| 主分類號: | C30B28/06 | 分類號: | C30B28/06;C30B29/06;C03B20/00 |
| 代理公司: | 北京德琦知識產權代理有限公司 11018 | 代理人: | 齊葵;王誠華 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 石英 坩堝 制造 方法 鑄造 裝置 | ||
1.一種石英坩堝,用于制造硅錠,其特征在于,
所述石英坩堝具備底部和從所述底部的外周部立起的側壁部,并且上方開口,
所述底部與所述側壁部相交的交叉部分的內側向所述石英坩堝的內方伸展,形成厚度比所述底部、所述側壁部厚的壁厚部。
2.根據權利要求1所述的石英坩堝,其特征在于,所述壁厚部被形成為與所述底部和所述側壁部平滑相連,并隨著從所述交叉部分的中央分別向所述底部的中央側與所述側壁部的上端側厚度逐漸變薄。
3.根據權利要求2所述的石英坩堝,其特征在于,所述壁厚部中的內表面形狀被形成為R狀。
4.根據權利要求3所述的石英坩堝,其特征在于,形成為所述R狀的內表面形狀部分的曲率半徑為50mm以上。
5.一種石英坩堝的制造方法,制造權利要求1~4中任一項所述的石英坩堝,其特征在于,具備通過在所述底部與所述側壁部的交叉部分的內側形成石英的涂膜從而形成所述壁厚部的涂膜形成工序。
6.一種鑄造裝置,其特征在于,在權利要求1~4中任一項所述的石英坩堝的上方和下方分別配置有用于加熱所述石英坩堝的加熱器。
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