[發明專利]熱處理裝置有效
| 申請號： | 201310057869.5 | 申請日： | 2013-02-25 |
| 公開（公告）號： | CN103302009A | 公開（公告）日： | 2013-09-18 |
| 發明（設計）人： | 宮島勇也 | 申請（專利權）人： | 東麗工程株式會社 |
| 主分類號： | B05D3/04 | 分類號： | B05D3/04;B05C13/00 |
| 代理公司： | 北京天悅專利代理事務所(普通合伙) 11311 | 代理人： | 吳京順;任曉航 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 熱處理 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種熱處理裝置，包括：
多個振動板部，在搬運基板的方向上并排排列；
超聲波發生部，向各所述振動板部施加超聲波振動；
溫度控制部，將規定的所述振動板部溫度控制在規定的溫度，
其中，對基板以超聲波振動懸浮來搬運的同時，給基板實施熱處理，
其特征在于，
部分或者全部所述振動板部之間進一步配置有通過氣體的噴射來使基板懸浮的氣體懸浮部。
2.根據權利要求1所述的熱處理裝置，其特征在于，至少在有溫度差異的所述振動板部之間配置有所述氣體懸浮部。
3.根據權利要求1所述的熱處理裝置，其特征在于，在所述振動板部和所述氣體懸浮部之間設置有間隙。
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