[發明專利]功率和頻率的基于阻抗的調節

有效

• 申請號: 201310057803.6
• 申請日: 2013-02-22
• 公開（公告）號: CN103295866A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發明（設計）人: 約翰·C·小瓦爾考;布拉德福德·J·林達克
• 申請（專利權）人: 朗姆研究公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 上海勝康律師事務所 31263
• 代理人: 李獻忠

1.一種系統，包括：

等離子體腔室，其用于收容等離子體，所述等離子體腔室包括電極；

驅動器放大器，其與所述等離子體腔室耦合，用于向所述電極提供射頻（RF）信號，所述驅動器放大器經由傳輸線與所述等離子體腔室耦合；

選擇器，其與所述驅動器放大器耦合；

第一自動頻率控制器（AFC），其與所述選擇器耦合；

第二AFC，其與所述選擇器耦合；

其中所述選擇器被配置為基于在所述傳輸線上感測到的電流和電壓的值來選擇所述第一AFC或所述第二AFC。

2.如權利要求1所述的系統，其中，所述電流和電壓的值用于生成一個或多個伽瑪值，其中所述選擇器被配置為當所述伽瑪值中的一個大于第一閾值時選擇所述第一AFC，并且被配置為當所述伽瑪值中的另一個大于第二閾值時選擇所述第二AFC。

3.如權利要求1所述的系統，其中，所述選擇器包括多路復用器。

4.一種系統，包括：

主生成器，其與電極耦合，所述主生成器包括用于向所述電極供應主射頻（RF）信號的主驅動器放大器，所述主生成器進一步包括主自動頻率調諧器（AFT）以便當脈沖信號處于第一狀態時向所述主驅動器放大器提供第一主頻率輸入，所述主AFT被配置為當所述脈沖信號處于第二狀態時向所述主驅動器放大器提供第二主頻率輸入；以及

輔生成器，其與所述電極耦合，所述輔生成器包括用于向所述電極供應輔RF信號的輔驅動器放大器，所述輔生成器進一步包括與所述輔驅動器放大器耦合的第一輔AFT，所述輔生成器包括與所述輔驅動器放大器耦合的第二輔AFT，所述輔生成器包括處理器，所述處理器與所述第一輔AFT和所述第二輔AFT耦合，所述輔生成器進一步包括與所述電極耦合的一個或多個傳感器，所述一個或多個傳感器用于感測在所述第一狀態和所述第二狀態期間在所述輔生成器和所述電極之間傳遞的電流和電壓，所述處理器被配置為基于所述電流和電壓來生成參數，所述處理器被配置為判定對于所述第一狀態的所述參數中的第一個是否超過第一界限以及對于所述第二狀態的所述參數中的第二個是否超過第二界限，所述第一輔AFT被配置為在接收到所述第一參數超過所述第一界限的判定時向所述輔驅動器放大器提供第一輔頻率輸入，所述第二輔AFT被配置為在接收到所述第二參數超過所述第二界限的判定時向所述輔驅動器放大器提供第二輔頻率輸入。

5.如權利要求4所述的系統，進一步包括與所述處理器耦合以用于選擇所述第一輔AFT或所述第二輔AFT的選擇器，所述選擇器響應于接收到來自所述輔處理器的指示所述第一參數超過所述第一界限的信號而選擇所述第一輔AFT，所述選擇器響應于接收到來自所述輔處理器的指示所述第二參數超過所述第二界限的信號而選擇所述第二輔AFT。

6.如權利要求4所述的系統，其中，所述電極包括等離子體腔室的下方電極。

7.如權利要求4所述的系統，其中，在所述第一狀態期間，所述主驅動器放大器被配置為生成具有比所述輔RF信號低的頻率的所述主RF信號，其中所述主RF信號具有比所述輔RF信號高的功率量。

8.如權利要求4所述的系統，其中，所述處理器被配置為基于脈沖信號的量級來判定所述脈沖信號是否處于所述第一狀態或所述第二狀態。

9.如權利要求4所述的系統，其中，所述第一參數和所述第二參數中的每一個均包括伽瑪值或阻抗差值。