[發明專利]模涂敷機和涂敷膜的制造方法

有效

• 申請號: 201310057301.3
• 申請日: 2013-02-22
• 公開（公告）號: CN103357542B
• 公開（公告）日: 2017-04-12
• 發明（設計）人: 小松原誠;守田佳史;鈴木治
• 申請（專利權）人: 日東電工株式會社
• 主分類號: B05C5/00
• 分類號: B05C5/00;B05C11/10;B05C11/02;B05D1/02
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙)11277
• 代理人: 劉新宇,張會華

技術領域

本發明涉及一種模涂敷機（die?coater）和涂敷膜的制造方法。

背景技術

以往，作為一種涂敷裝置，公知有在模具（die）中具有用于噴射涂敷液的狹縫和用于將涂敷液供給到該狹縫中的模腔的模涂敷機。該模涂敷機通過向模腔供給涂敷液、從該模腔向狹縫擠出涂敷液并且使膜等基材靠近該狹縫而相對于狹縫移動，從而在該基材上涂敷涂敷液。

在這種模涂敷機中，有時因涂敷膜的厚度（膜厚）在狹縫的整個長邊方向上產生偏差而不能獲得均勻的厚度的涂敷膜。

因此，提出有如下技術：模涂敷機包括：模腔，其用于向長邊方向的涂敷寬度為恒定的狹縫供給涂敷液；供給部，其用于向該模腔供給涂敷液；以及排出部，其用于從該模腔排出涂敷液，該模涂敷機通過調整從該模腔排出的涂敷液的排出流量而使來自狹縫的噴射量在整個上述長邊方向上均勻，使涂敷膜的厚度在整個上述長邊方向上均勻（專利文獻1）。

專利文獻1：日本特開2009－28685號公報

另外，在包括專利文獻1那樣的模涂敷機在內的通常的模涂敷機中，根據用途等，有時以各種不同的涂敷寬度對基材進行涂敷。例如，當用相同的涂敷寬度對寬度較寬的基材進行涂敷和對寬度較窄的基材進行涂敷時，由于在對寬度較寬的基材進行的涂敷中會產生沒有被涂敷的較多的材料（基材）損耗，為了避免這樣的損耗，有時會根據所涂敷的基材來改變涂敷寬度。

但是，在這種情況下，若在一個模涂敷機中以使涂敷寬度改變的方式使用該模涂敷機，則會產生無法預測的膜厚偏差。因此，以往，需要使用涂敷寬度不同的多個模涂敷機。

另外，在上述專利文獻1那樣的模涂敷機中，即使在改變了涂敷寬度的情況下，在改變了涂敷寬度之后，模腔內的涂敷液的壓力偏差會立即發生較大的變化而產生較大的膜厚偏差。因此，在該模涂敷機中，無論如何都無法采用使涂敷寬度改變的結構。

發明內容

本發明鑒于上述問題點而將課題設為提供一種能夠使狹縫的長邊方向上的涂敷寬度適當改變并獲得在整個該長邊方向上膜厚偏差較小的涂敷膜的模涂敷機和涂敷膜的制造方法。

本發明的發明人們對上述課題進行了認真研究，明確了以下情況。

即，當使狹縫的長邊方向上的涂敷寬度改變時，涂敷液的在每單位涂敷寬度的狹縫中通過的通過流量變化，從而形成在基材上的涂敷膜的在整個上述長邊方向（涂敷膜的寬度方向）上的膜厚（膜厚的平均值）發生變化。

具體而言，在以規定的涂敷寬度對向模腔供給的涂敷液的供給流量和自模腔排出的涂敷液的排出流量進行設定之后，當使涂敷寬度減小時，上述通過流量變大，與改變涂敷寬度之前相比，整個上述長邊方向上的膜厚變大。另一方面，當使涂敷寬度增大時，上述通過流量變小，與改變涂敷寬度之前相比，整個上述長邊方向上的膜厚變小。

因此，為了將涂敷膜的膜厚設定為在改變涂敷寬度的前后恒定，在使涂敷寬度減小后的情況下，需要使供給流量小于改變前的供給流量來進行涂敷，以便使上述通過流量在改變涂敷寬度的前后恒定，另一方面，在使涂敷寬度增大后的情況下，需要使供給流量比改變涂敷寬度前的供給流量增大來進行涂敷，以便使上述通過流量在改變涂敷寬度的前后恒定。

但是，當如此設定時，在使涂敷寬度減小后的情況下，與使涂敷寬度減小之前相比，通過模腔的涂敷液的流動方向下游側相對于上游側的壓力損失變大。由此，涂敷膜中的、通過上述下游側的噴射而形成的部分薄于其他部分。另一方面，在使涂敷寬度增大后的情況下，與使涂敷寬度增大之前相比，上述壓力損失變小，從而涂敷膜中的、通過上述下游側的噴射而形成的部分厚于其他部分。

這樣明確了：當使涂敷寬度改變時，通過狹縫的通過流量在上述長邊方向上產生偏差而產生涂敷膜的在上述長邊方向上的膜厚偏差。

基于該見解，本發明的發明人們進一步進行了認真研究，發現了：在使涂敷寬度減小時，通過使上述通過流量在改變涂敷寬度的前后恒定，并且使上述供給流量和排出流量小于改變涂敷寬度前的供給流量和排出流量，能夠抑制上述壓力損失在改變涂敷寬度的前后發生變化。另外，在使涂敷寬度增大時，通過使上述通過流量在改變涂敷寬度的前后恒定，并且使上述供給流量和排出流量大于改變涂敷寬度前的供給流量和排出流量，能夠抑制上述壓力損失在改變涂敷寬度的前后發生變化。