[發明專利]一種膜邊調整器

有效

• 申請號: 201310057293.2
• 申請日: 2013-02-22
• 公開（公告）號: CN103132016A
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發明（設計）人: 王守坤;孫亮
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C16/04
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;黃燦

技術領域

本發明涉及液晶顯示器制造技術領域，尤其涉及一種膜邊調整器。

背景技術

在目前的TFT-LCD（Thin?Film?Transistor-Liquid?Crystal?Display，薄膜晶體管-液晶顯示器）生產線上，玻璃基板進入工藝成膜室內成膜。如圖1所示，現有的工藝成膜腔室內通常采用一個位置和寬度均固定的遮擋板框架20對膜邊（指膜到玻璃基板邊緣的距離)進行調整。玻璃基板21放入遮擋板框架20的下方，遮擋板框架20的四個邊框分別遮擋玻璃基板21的四周邊緣部分面積，而玻璃基板21中未被該遮擋板框架20遮擋的中間部分即進行成膜，以實現對膜邊的控制。

但是，由于玻璃基板在傳送過程中會發生偏移，玻璃基板在進入工藝腔室后，如果玻璃基板的放入位置不當，就會導致成膜的膜邊偏移及成膜不均勻，從而導致后續的曝光和刻蝕工序的不良產生，甚至會導致玻璃基板發生破碎，從而導致設備down機，造成生產延誤，影響整個產線的產能和效益。

發明內容

為了解決現有技術中玻璃基板在成膜過程中存在的膜邊偏移及成膜不均勻的問題，本發明提供了一種膜邊調整器，能夠調整玻璃基板成膜的膜邊，提高產線良率。

本發明所提供的技術方案如下：

一種膜邊調整器，包括：

用于分別遮擋待成膜基板的四周邊緣部分面積的四個遮擋板，四個遮擋板兩兩相對設置，且至少一對相對設置的遮擋板之間的相對距離可調。

優選的，所述膜邊調整器還包括兩兩相對設置并圍設成一固定框架結構的四個固定邊框；四個遮擋板一一對應地設置于所述四個固定邊框上；且至少一個遮擋板以可移動的方式連接在所述固定框架結構上，并能夠相對于與其相對設置的遮擋板移動。

優選的，所述膜邊調整器還包括：一用于控制所述至少一對相對設置的遮擋板移動的第一控制裝置。

優選的，所述膜邊調整器還包括：

一用于獲取各遮擋板的當前位置信息的第一獲取裝置；

一用于將各遮擋板的當前位置信息反饋至所述第一控制裝置，以使得所述第一控制裝置根據各遮擋板的當前位置信息控制所述至少一對相對設置的遮擋板移動的第一反饋裝置，分別與所述第一獲取裝置和所述第一控制裝置連接。

優選的，所述第一獲取裝置為光學感應器。

優選的，所述膜邊調整器還包括：一用于將待成膜基板的位置調整至預定位置的對位機構。

優選的，所述對位機構包括：

一用于獲取待成膜基板的當前位置信息的第二獲取裝置；

一用于移動待成膜基板的移動裝置；

一用于根據所述待成膜基板的當前位置信息，控制所述移動裝置將所述待成膜基板移動至預定位置的第二控制裝置，與所述移動裝置連接；

一用于將所述待成膜基板的位置信息反饋至所述第二控制裝置的第二反饋裝置，分別與所述第二獲取裝置和所述第二控制裝置連接。

優選的，所述第二獲取裝置為光學感應器。

優選的，所述移動裝置包括：

分別夾持固定待成膜基板的四個邊角的四個夾持結構，每一所述夾持結構包括固定架以及間隔設置在所述固定架上的用于分別夾設于待成膜基板的邊角的兩側外邊緣，以固定待成膜基板的至少兩個轉軸；以及，

在所述第二控制裝置控制下，驅動所述轉軸在待成膜基板的邊角的兩側外邊緣轉動，以推動待成膜基板移動的驅動結構，所述驅動結構與所述第二控制裝置連接。

優選的，所述驅動結構為采用電動或者氣動方式的驅動結構。

本發明的有益效果如下：

本發明的膜邊調整器，由于至少一對相對設置的遮擋板的相對距離可調，從而，可以調節遮擋板對待成膜基板的四周邊緣的遮擋面積，以實現對膜邊大小的調節，提高產線的良率。

附圖說明

圖1表示現有技術中的遮擋板框架的示意圖；

圖2表示本發明所提供的膜邊調整器的一種實施例的結構示意圖；

圖3表示本發明所提供的膜邊調整器的另一種實施例的結構示意圖；

圖4表示本發明所提供的膜邊調整器中的移動裝置的結構示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖對本發明的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本發明，并非用于限定本發明的范圍。

本實施例中提供了一種膜邊調整器，可以在TFT-LCD生產線上，玻璃基板進入工藝成膜室內成膜時，實現對膜邊大小的調節。