[發明專利]自組織單量子點的定位方法及裝置

有效

• 申請號: 201310056260.6
• 申請日: 2013-02-19
• 公開（公告）號: CN103163109A
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 尚向軍;倪海橋;査國偉;喻穎;李密峰;王莉娟;徐建星;牛智川
• 申請（專利權）人: 中國科學院半導體研究所
• 主分類號: G01N21/64
• 分類號: G01N21/64
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 宋焰琴

1.一種定位自組織單量子點的裝置，其包括：

激光器，其用于產生激發光，所述激發光沿光路經顯微物鏡匯聚，照射在量子點樣品表面微區，激發所述微區中的量子點產生熒光光束；

紫外光源裝置，其用于產生紫外光；

顯微物鏡，其用于匯聚所述激發光和紫外光到所述量子點樣品表面的微區，并收集所述量子點樣品表面的微區中量子點發出的熒光光束，其還用于掃描量子點樣品表面；

光譜儀，其用于表征所述熒光光束，得到熒光光譜；

其中，在所述熒光光譜中找到單量子點發出的熒光對應的分立譜線后，所述顯微物鏡停止掃描，并打開所述紫外光源裝置對當前掃描的量子點樣品表面微區的光刻膠進行曝光，以定位自組織單量子點的位置。

2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述量子點樣品表面涂有負性光刻膠，其感應所述紫外光源裝置發出的紫外光，而對所述激光器發出的激發光和量子點熒光透明。

3.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述激發光和紫外光通過第一分束器合束，共用一條光路。

4.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述顯微物鏡將所述激發光和紫外光匯聚到所述量子點樣品表面，且照射在所述量子點樣品上的激發光光斑和紫外光光斑基本重合。

5.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括第二分束器、濾光片和透鏡，所述顯微物鏡收集的熒光光束經所述第二分束器透射并經所述濾光片濾除激發光和紫外光后，被所述透鏡聚焦到所述光譜儀的入射狹縫。

6.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述激光器為氦氖激光器；所述紫外光光源裝置為固體激光器、半導體激光器或經擴束、準直和濾光的汞燈之一。

7.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括擋板和衰減片組，其中所述擋板用于開關所述紫外光，而所述衰減片組用于調整所述紫外光強度。

8.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述自組織單量子點為發光波長在近紅外波段的自組織銦砷單量子點。

9.一種自組織單量子點的定位方法，其包括：

步驟1、將表面預涂負性光刻膠的量子點樣品放入杜瓦中；

步驟2、由激光器發出的激發光經顯微物鏡匯聚后，照射所述量子點樣品表面的微區；

步驟3、用顯微物鏡對所述量子點樣品表面進行掃描，并收集所述微區中的量子點發出的熒光光束；

步驟4、由光譜儀表征所述熒光光束，獲得熒光光譜；

步驟5、從所述熒光光譜找到單量子點發出的熒光對應的分立譜線，并停止掃描；

步驟6、對停止掃描時所述顯微物鏡聚焦的所述量子點樣品表面的微區進行紫外光曝光，以定位自組織單量子點的位置。