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[發(fā)明專利]用于制造半導(dǎo)體器件的方法有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201310055161.6 申請日: 2010-10-25
公開(公告)號: CN103151266A 公開(公告)日: 2013-06-12
發(fā)明(設(shè)計)人: 細羽幸;坂田淳一郎;大原宏樹;山崎舜平 申請(專利權(quán))人: 株式會社半導(dǎo)體能源研究所
主分類號: H01L21/336 分類號: H01L21/336;H01L21/28
代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 葉曉勇;朱海煜
地址: 日本神奈*** 國省代碼: 日本;JP
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 用于 制造 半導(dǎo)體器件 方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種用于制造半導(dǎo)體器件的方法,包括下列步驟:

在襯底之上形成柵電極;

在所述襯底和所述柵電極之上形成柵絕緣膜;

通過濺射在所述柵絕緣膜之上形成氧化物半導(dǎo)體層;

對所述氧化物半導(dǎo)體層進行加熱處理以降低所述氧化物半導(dǎo)體層的氫濃度;

在進行所述加熱處理后將氧提供至所述氧化物半導(dǎo)體層中;以及

在所述氧化物半導(dǎo)體層之上形成源電極和漏電極。

2.一種用于制造半導(dǎo)體器件的方法,包括下列步驟:

在襯底之上形成柵電極;

在所述襯底和所述柵電極之上形成柵絕緣膜;

通過濺射在所述柵絕緣膜之上形成氧化物半導(dǎo)體層;

對所述氧化物半導(dǎo)體層進行加熱處理以降低所述氧化物半導(dǎo)體層的氫濃度;

在進行所述加熱處理后將氧提供至所述氧化物半導(dǎo)體層中;

在所述氧化物半導(dǎo)體層之上形成源電極和漏電極;以及

在形成所述源電極和所述漏電極后進行等離子體處理。

3.如權(quán)利要求1或2所述的方法,

其中,進行所述加熱處理以便去除所述氧化物半導(dǎo)體層中的水分。

4.如權(quán)利要求1或2所述的方法,

其中,為執(zhí)行所述氧化物半導(dǎo)體層的脫水處理和脫氫處理而進行所述加熱處理。

5.一種用于制造半導(dǎo)體器件的方法,包括下列步驟:

在襯底之上形成柵電極;

在所述襯底和所述柵電極之上形成柵絕緣膜;

通過濺射在所述柵絕緣膜之上形成氧化物半導(dǎo)體層;

對所述氧化物半導(dǎo)體層進行第一加熱處理以降低所述氧化物半導(dǎo)體層的氫濃度;

在進行所述第一加熱處理后將氧提供至所述氧化物半導(dǎo)體層中;

在所述氧化物半導(dǎo)體層之上形成源電極和漏電極;

在形成所述源電極和所述漏電極后進行等離子體處理;

在所述氧化物半導(dǎo)體層、所述源電極和所述漏電極之上形成絕緣膜;以及

在形成所述絕緣膜后進行第二熱處理。

6.如權(quán)利要求5所述的方法,

其中,進行所述第一加熱處理以便去除所述氧化物半導(dǎo)體層中的水分。

7.如權(quán)利要求5所述的方法,

其中,為執(zhí)行所述氧化物半導(dǎo)體層的脫水處理和脫氫處理而進行所述第一加熱處理。

8.如權(quán)利要求2或5所述的方法,

其中,N2O氣體被用于進行所述等離子體處理。

9.如權(quán)利要求1、2或5的任一項所述的方法,

其中,通過氧氣氛中的冷卻處理來進行將氧提供至所述氧化物半導(dǎo)體層中的步驟。

10.如權(quán)利要求1、2或5的任一項所述的方法,

其中,將氧提供至所述氧化物半導(dǎo)體層中的步驟在空氣氣氛下進行。

11.如權(quán)利要求1、2或5的任一項所述的方法,

其中,將氧提供至所述氧化物半導(dǎo)體層中的步驟在氧氣氛或氧氮氣氛下進行。

12.如權(quán)利要求1、2或5的任一項所述的方法,

其中,進行將氧提供至所述氧化物半導(dǎo)體層中的步驟以便填充所述氧化物半導(dǎo)體層中的氧缺陷。

13.如權(quán)利要求1、2或5的任一項所述的方法,

其中,所述柵絕緣膜具有使用氧化硅膜、氮化硅膜、氧氮化硅膜、氮氧化硅膜、氧化鋁膜、氮化鋁膜、氧氮化鋁膜、氮氧化鋁膜和氧化鉿膜中的至少一個的層疊結(jié)構(gòu)。

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