[發(fā)明專利]透射X射線分析裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201310055104.8 | 申請(qǐng)日： | 2013-02-21 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN103499592B | 公開（公告）日： | 2017-04-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 的場(chǎng)吉毅 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 日本株式會(huì)社日立高新技術(shù)科學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G01N23/04 | 分類號(hào)： | G01N23/04 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 何欣亭,朱海煜 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 透射 射線 分析 裝置 | ||
1.一種透射X射線分析裝置，檢測(cè)帶狀連續(xù)地向既定的輸送方向移動(dòng)的樣品的透射X射線像，所述透射X射線分析裝置具備：
TDI傳感器，為時(shí)間延遲積分方式的TDI傳感器，所述時(shí)間延遲積分方式的TDI傳感器二維狀地具備讀出對(duì)來源于所述透射X射線像的圖像進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換而產(chǎn)生的電荷的多個(gè)攝像元件，所述TDI傳感器在所述輸送方向上多級(jí)排列在與所述輸送方向垂直的方向上排列所述攝像元件的線傳感器，并將累積于一個(gè)線傳感器的電荷向相鄰的下一個(gè)線傳感器輸送；
X射線源，與所述TDI傳感器相向而配置；
一對(duì)支承輥，在所述TDI傳感器和所述X射線源之間沿連結(jié)所述TDI傳感器和所述X射線源的檢測(cè)方向離開所述TDI傳感器而配置，并保持所述TDI傳感器和所述樣品之間的間隔為固定并且將所述樣品輸送到所述TDI傳感器的檢測(cè)位置；以及
一對(duì)外側(cè)輥，沿所述輸送方向分別配置于所述支承輥更外側(cè)，并輸送所述樣品，
沿所述檢測(cè)方向，相鄰的所述支承輥和所述外側(cè)輥配置于不同位置，在所述一對(duì)支承輥之間對(duì)所述樣品施加張力。
2.如權(quán)利要求1所述的透射X射線分析裝置，所述一對(duì)支承輥安裝于所述TDI傳感器。
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