[發(fā)明專利]音叉型石英晶體諧振器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310054799.8 | 申請日： | 2009-12-02 |
| 公開（公告）號： | CN103199817A | 公開（公告）日： | 2013-07-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 楊建成;王文瑩;李鴻鵬 | 申請（專利權(quán)）人： | 威華微機電股份有限公司 |
| 主分類號： | H03H9/215 | 分類號： | H03H9/215 |
| 代理公司： | 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁揮;常大軍 |
| 地址： | 中國臺灣新竹科學工業(yè)園*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 音叉 石英 晶體 諧振器 | ||
1.一種音叉型石英晶體諧振器，其特征在于，包括：
一底座，該底座具有相對的一第五主表面以及一第六主表面，該底座亦具有相對的一第五側(cè)表面以及一第六側(cè)表面；
一第一諧振臂，連接于該底座；以及
一第二諧振臂，連接于該底座；
其中，該底座的該第五側(cè)表面以及該第六側(cè)表面上各具有一凹陷，該凹陷為一連續(xù)曲面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的音叉型石英晶體諧振器，其特征在于，每一該些凹陷具有一轉(zhuǎn)折段及兩個連接段，該轉(zhuǎn)折段連接于該兩個連接段之間，該第五側(cè)表面的該些連接段分別連接于該第五側(cè)表面，該第六側(cè)表面的該些連接段分別連接于該第六側(cè)表面，同一該側(cè)表面的該兩個連接段的斜率的變化率不相同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的音叉型石英晶體諧振器，其特征在于，該底座具有一凹槽，該凹槽位于該第六主表面上，該凹槽靠近該第一諧振臂以及該第二諧振臂處具有一第一寬度，該凹槽遠離該第一諧振臂以及該第二諧振臂處具有一第二寬度，該第一寬度較該第二寬度寬。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的音叉型石英晶體諧振器，其特征在于，該底座具有一凹槽，該凹槽位于該第五主表面上，該凹槽靠近該第一諧振臂以及該第二諧振臂處具有一第一寬度，該凹槽遠離該第一諧振臂以及該第二諧振臂處具有一第二寬度，該第一寬度較該第二寬度寬。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的音叉型石英晶體諧振器，其特征在于，
該第一諧振臂具有依序相鄰的一第一主表面、一第一側(cè)表面、一第二主表面以及一第二側(cè)表面，該第一諧振臂具有至少一第一溝槽以及至少一第二溝槽，該第一溝槽位于該第一主表面該第二溝槽位于該第二主表面；以及
該第二諧振臂具有依序相鄰的一第三主表面、一第三側(cè)表面、一第四主表面以及一第四側(cè)表面，該第二諧振臂具有至少一第三溝槽以及至少一第四溝槽，該第三溝槽位于該第三主表面，該第四溝槽位于該第四主表面；
其中，該第一主表面以及該第三主表面位于同一平面，該第一溝槽、該第二溝槽、該第三側(cè)表面與該第四側(cè)表面電性連接形成一第一電極，該第三主表面、該第四主表面、該第一側(cè)表面與該第二側(cè)表面電性連接形成一第二電極，該第一電極與該第二電極的極性相異。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的音叉型石英晶體諧振器，其特征在于，該第一主表面具有兩個該第一溝槽，該第二主表面具有兩個該第二溝槽，該第三主表面具有兩個該第三溝槽，該第四主表面具有兩個該第四溝槽，該些第一溝槽及該些第三溝槽分別具有一第一深度，該些第二溝槽及該些第四溝槽分別具有一第二深度，該第一及第二諧振臂在該些溝槽的深度方向具有一厚度，該第一深度相異于該第二深度，該第一、三溝槽底部與第二、四溝槽底部的距離與諧振臂厚度的比值在10%到32%之間。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的音叉型石英晶體諧振器，其特征在于，該第一主表面具有兩個該第一溝槽，該第二主表面具有一個該第二溝槽，該第三主表面具有兩個該第三溝槽，該第四主表面具有一個該第四溝槽，該第二溝槽的一寬度小于該兩個第一溝槽的間距，該第四溝槽的一寬度小于該兩個第三溝槽的間距，該些第一溝槽及該些第三溝槽分別具有一第一深度，該第二溝槽及該第四溝槽分別具有一第二深度，該第一及第二諧振臂在該些溝槽的深度方向具有一厚度，該第一深度相異于該第二深度，該第一、三溝槽底部與第二、四溝槽底部的距離與諧振臂厚度的比值在－15%到＋12%之間。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的音叉型石英晶體諧振器，其特征在于，該第一主表面具有一個該第一溝槽，該第二主表面具有兩個該第二溝槽，該第三主表面具有一個該第三溝槽，該第四主表面具有兩個該第四溝槽。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的音叉型石英晶體諧振器，其特征在于，該第一諧振臂具有至少一第一貫穿孔，該第二諧振臂具有至少一第二貫穿孔，該第一貫穿孔自該第一溝槽貫穿至該第二溝槽，該第二貫穿孔自該第三溝槽貫穿至該第四溝槽，該第一溝槽、該第二溝槽、該第一貫穿孔、該第三側(cè)表面與該第四側(cè)表面電性連接形成該第一電極，該第三溝槽、該第四溝槽、該第二貫穿孔、該第一側(cè)表面與該第二側(cè)表面電性連接形成該第二電極。
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