[發明專利]基板上隔墊物制造方法

有效

• 申請號: 201310054769.7
• 申請日: 2013-02-20
• 公開（公告）號: CN103149745A
• 公開（公告）日: 2013-06-12
• 發明（設計）人: 李娟
• 申請（專利權）人: 北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G02F1/1339
• 分類號: G02F1/1339;G03F7/00;G03F7/004
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種基板上隔墊物制造方法，其特征在于，包括：

在襯底基板上形成第一隔墊物基材層和位于第一隔墊物基材層之上的第二隔墊物基材層；所述第二隔墊物基材層的感光度大于第一隔墊物基材層的感光度；

對所述第一隔墊物基材層和第二隔墊物基材層進行曝光顯影，形成隔墊物。

2.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述形成隔墊物之后還包括：

對隔墊物進行后固化。

3.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述在襯底基板上形成第一隔墊物基材層和位于第一隔墊物基材層之上的第二隔墊物基材層之前還包括：

清洗襯底基板，并對清洗后的襯底基板進行干燥。

4.根據權利要求1~3任一項所述的制造方法，其特征在于，所述在襯底基板上形成第一隔墊物基材層和位于第一隔墊物基材層之上的第二隔墊物基材層包括：

在襯底基板上涂覆第一隔墊物基材層；

在所述第一隔墊物基材層上涂覆第二隔墊物基材層。

5.根據權利要求4所述的制造方法，其特征在于，在對所述第一隔墊物基材層和第二隔墊物基材層進行曝光顯影之前還包括：

對第一隔墊物基材層以及第二隔墊物基材層進行預固化。

6.根據權利要求1~3任一項所述的制造方法，其特征在于，所述在襯底基板上形成第一隔墊物基材層和位于第一隔墊物基材層之上的第二隔墊物基材層包括：

在襯底基板上形成第一隔墊物基材層；

對第一隔墊物基材層預固化；

在第一隔墊物基材層上形成第二隔墊物基材層。

7.根據權利要求6所述的制造方法，其特征在于，在對所述第一隔墊物基材層和第二隔墊物基材層進行曝光顯影之前還包括：

對所述第二隔墊物基材層進行預固化。

8.根據權利要求1~3任一項所述的制造方法，其特征在于，所述在襯底基板上形成第一隔墊物基材層和位于第一隔墊物基材層之上的第二隔墊物基材層包括：

在襯底基板上涂覆具有兩種不同感光度的隔墊物樹脂合成原料的隔墊物基材層，且感光度較高的隔墊物樹脂合成原料的密度大于感光度較低的隔墊物樹脂合成原料的密度；

對隔墊物基材層進行旋轉離心分層，隔墊物基材層內的不同密度的隔墊物樹脂合成原料沿隔墊物頂部指向底部的方向由大到小垂直分布，感光度較高的隔墊物樹脂合成原料形成所述第二隔墊物基材層，感光度較低的隔墊物樹脂合成原料形成所述第一隔墊物基材層。

9.根據權利要求8所述的制造方法，其特征在于，所述樹脂合成原料包括：多聚物、含多功能基團的交聯劑、光引發劑以及溶劑體系。

10.根據權利要求9所述的制造方法，其特征在于，所述多聚物為丙烯酸樹脂，且所述多聚物的比重為10~25%；所述交聯劑為含有多個氨基、異腈酸酯基等功能基團的丙烯酸單體，所述光引發劑包括苯偶姻、酰基膦氧化物、硫雜蒽酮類中的一種或多種，且所述光引發劑與交聯劑的比重為10~25%；所述溶劑體系包含二乙二醇二甲醚、丙二醇甲醚醋酸酯中的至少一種，且所述溶劑體系的比重為50~80%。