[發(fā)明專利]一種陣列基板的制作方法、陣列基板和顯示裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310053700.2
• 申請日: 2013-02-19
• 公開（公告）號: CN103107135A
• 公開（公告）日: 2013-05-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 魏小丹;張興強(qiáng);陸忠;張同局
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/77
• 分類號: H01L21/77;H01L27/12
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 黃燦;安利霞

1.一種陣列基板的制作方法，其特征在于，包括：

在陣列基板上形成墊高層，所述墊高層位于陣列基板的平坦化層下方，且對應(yīng)于所述平坦化層的過孔的位置，其中，所述平坦化層為熱熔性材料形成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列基板的制作方法，其特征在于，所述熱熔性材料為亞克力材料。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的陣列基板的制作方法，其特征在于，包括：

S1：提供一襯底基板，在所述襯底基板上形成TFT；

S2：在所述襯底基板上方形成墊高層；

S3：在所述墊高層上方形成平坦化層，并在所述平坦化層上形成過孔，其中所述墊高層對應(yīng)所述平坦化層的過孔的位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的陣列基板的制作方法，其特征在于，

所述在襯底基板上形成TFT的步驟，具體為：在所述襯底基板上形成柵極層、柵絕緣層、有源層、源漏電極層；

所述在襯底基板上方形成墊高層的步驟具體為：在所述襯底基板上或者在所述柵極層、柵絕緣層、有源層、源漏電極層中任意一層上形成墊高層。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的陣列基板的制作方法，其特征在于，還包括：

在所述平坦化層上方形成像素電極層，所述像素電極通過所述平坦化層上的過孔與所述TFT漏電極連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的陣列基板的制作方法，其特征在于，

所述在襯底基板上形成柵極層、柵絕緣層、有源層、源漏電極層的步驟，還包括：在所述陣列基板的綁定驅(qū)動電路的周邊區(qū)域中，與所述柵極同層形成綁定柵線，與所述源漏電極同層形成綁定數(shù)據(jù)線，所述綁定柵線和所述綁定數(shù)據(jù)線分別通過平坦化層上的過孔與驅(qū)動電路綁定。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的陣列基板的制作方法，其特征在于，在形成有墊高層的所述襯底基板上形成平坦化層的步驟包括：

在形成有墊高層的所述襯底基板上涂覆亞克力材料層；

對所述亞克力材料層進(jìn)行低壓干燥和烘烤；

對低壓干燥和烘烤后的所述亞克力材料層進(jìn)行曝光；

對曝光后的所述亞克力材料層進(jìn)行顯影和烘烤。

8.一種陣列基板，包括平坦化層，其特征在于，包括墊高層，所述墊高層位于平坦化層下方，且對應(yīng)于平坦化層的過孔處，其中，所述平坦化層為熱熔性材料形成。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的陣列基板，其特征在于，所述熱熔性材料為亞克力材料。

10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的陣列基板，其特征在于，包括：

襯底基板以及形成于所述襯底基板上的TFT；

形成在所述襯底基板上方的墊高層；

形成在所述墊高層上方的平坦化層，所述平坦化層上具有過孔，所述墊高層對應(yīng)所述平坦化層的過孔的位置。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的陣列基板，其特征在于，所述TFT包括柵極、柵絕緣層、有源層、源漏電極，所述墊高層位于所述襯底基板上或者位于柵極層、柵絕緣層、有源層、源漏電極層中的任意一層上。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的陣列基板，其特征在于，還包括：像素電極層，所述像素電極層位于平坦化層上方，所述像素電極通過所述平坦化層上的過孔與TFT漏電極連接。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的陣列基板，其特征在于，還包括鈍化層，所述鈍化層位于所述平坦化層的下方，所述鈍化層具有與所述平坦化層的過孔上下相通的過孔，所述像素電極與TFT漏電極通過所述平坦化層的過孔和鈍化層的過孔連接。

14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的陣列基板，其特征在于，

在所述陣列基板的綁定驅(qū)動電路的周邊區(qū)域，還包括與源漏電極同層形成的綁定數(shù)據(jù)線，以及與柵極同層形成的綁定柵線，所述綁定數(shù)據(jù)線與所述綁定柵線分別通過所述平坦化層上的過孔與驅(qū)動電路連接。

15.一種顯示裝置，包括如權(quán)利要求8-14任一項(xiàng)所述的陣列基板。