[發明專利]壓電振動元件及壓電裝置在審
| 申請號: | 201310053638.7 | 申請日: | 2013-02-19 |
| 公開(公告)號: | CN103259503A | 公開(公告)日: | 2013-08-21 |
| 發明(設計)人: | 山田博章;山口貴士 | 申請(專利權)人: | 日本電波工業株式會社 |
| 主分類號: | H03H9/02 | 分類號: | H03H9/02 |
| 代理公司: | 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205 | 代理人: | 臧建明;張洋 |
| 地址: | 日本東京涉谷區笹*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 壓電 振動 元件 裝置 | ||
技術領域
本發明涉及一種包含臺面(mesa)型的壓電片的壓電振動元件及壓電裝置,所述壓電振動元件不易發生由掉落等的沖擊及溫度變化而引起的頻率變動、且振動特性得到改良。
背景技術
形成著激振電極(excitation?electrode)、且通過對激振電極施加電壓而以規定的振動頻率振動的壓電片,以及包含此種壓電片的壓電振動元件,是眾所周知的。而且,通過將此種壓電振動元件載置于封裝(package)中而形成壓電裝置。眾所周知,在壓電片的主面形成著厚度比壓電片的周邊部厚的臺面部,由此晶體阻抗(crystal?impedance,CI)值變佳。而且,眾所周知,在包含形成著此種臺面部的臺面型的壓電片的壓電振動元件及壓電裝置中,振動特性會根據臺面部及電極的形成位置及大小等而發生變化。
例如專利文獻1中公開了如下的臺面型振動片,其通過使激振電極形成得比臺面部大,而提高頻率可變靈敏度(frequency?variable?sensitivity),從而抑制了不需要的振動。而且所述專利文獻1中公開了如下內容:通過使臺面部遠離導電性粘接劑而形成,可防止導電性粘接劑與激振電極之間的電短路(electric?short)。
現有技術文獻
專利文獻
專利文獻1日本專利特開2005-94410號公報
然而,在壓電振動元件及壓電裝置中,進而存在著如下的情況,即,相對于因掉落等的沖擊及溫度變化等而在壓電片中產生的應力,會發生頻率變動,從而尋求針對此問題的對應措施。而且,尋求關于振動特性的進一步的改善。
發明內容
本發明的目的在于:提供一種壓電振動元件及壓電裝置,不易發生由掉落等的沖擊及溫度變化而引起的頻率變動、且振動特性得到改良。
第一形態的壓電振動元件包括:壓電片,形成為包含長邊及短邊的矩形形狀,所述壓電片具有第一主面及所述第一主面的背面的第二主面,且至少在第一主面具有比周邊部厚的一臺面部;一對激振電極,形成在第一主面及第二主面;以及一對引出電極,從一對激振電極向一方的短邊引出。激振電極以比臺面部的面積大、且在形成著臺面部的主面以覆蓋臺面部的方式而形成。激振電極的中心從壓電片的中心向另一方的短邊側相隔第一距離。而且,臺面部的中心從壓電片的中心向另一方的短邊側相隔第二距離。進而,第二距離與第一距離不同。
第二形態的壓電振動元件如第一形態,第二距離為長邊的長度的0.073倍~0.148倍。
第三形態的壓電振動元件如第一形態及第二形態,還包括框部,所述框部包圍壓電片且連接于壓電片的一方的短邊,一對引出電極從一方的短邊進而向框部引出。
第四形態的壓電振動裝置包括:第一形態至第三形態的壓電振動元件,載置著壓電振動元件的底板,以及將壓電片密封的蓋板。
發明的效果
根據本發明的壓電振動元件及壓電裝置,不易發生由掉落等的沖擊及溫度變化而引起的頻率變動,且可改善振動特性。
附圖說明
圖1是壓電裝置100的分解立體圖。
圖2是圖1的I-I剖面圖。
圖3是壓電振動元件130的平面圖。
圖4A是壓電振動元件130a的平面圖。圖4B是表示壓電裝置掉落時的應力分布的模擬結果的壓電振動元件130a的平面圖。圖4C是表示壓電裝置的溫度變化時的應力分布的模擬結果的壓電振動元件130a的平面圖。
圖5是表示壓電振動元件的等價電路的圖。
圖6A是壓電振動元件130b的平面圖。圖6B是壓電振動元件130c的平面圖。
圖7A是表示臺面部的X軸方向的長度MX與等價串聯電容C1的關系的曲線圖。圖7B是表示臺面部的X軸方向的長度MX與等價串聯電阻R1的關系的曲線圖。
圖8是表示壓電振動元件的激振電極的尺寸及臺面部的尺寸的表。
圖9A是表示第二距離DM與等價串聯電容C1的關系的曲線圖。圖9B是表示第二距離DM與等價串聯電阻R1的關系的曲線圖。
圖10是壓電裝置200的分解立體圖。
圖11是圖10的II-II剖面圖。
圖12是壓電振動元件230的平面圖。
圖13A是壓電振動元件230a的平面圖。圖13B是表示壓電裝置掉落時的應力分布的模擬結果的壓電振動元件230a的平面圖。圖13C是表示壓電裝置的溫度變化時的應力分布的模擬結果的壓電振動元件230a的平面圖。
附圖標記:
100、200:壓電裝置
101、201:模腔
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