[發明專利]接觸式探針

有效

• 申請號: 201310053307.3
• 申請日: 2013-02-19
• 公開（公告）號: CN103256891B
• 公開（公告）日: 2017-07-28
• 發明（設計）人: 本杰明·烏里奧德;色格·瑪麗爾;A·M·麥勒杜
• 申請（專利權）人: 特莎有限公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;G01B11/03
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司11127
• 代理人: 黨曉林,王小東

1.一種接觸式探針，該接觸式探針包括：

固定構件；

感應器，單塊金屬彈性元件將所述感應器相對于所述固定構件保持在靜止位置，所述感應器能夠響應于偏轉力從所述靜止位置移動；

包括光源的用于檢測所述感應器的位移的檢測系統，所述光源借助所述感應器相對于所述固定構件的位移而被驅動；以及

接收由所述光源發出的光的光學圖像傳感器，

其中，所述光學圖像傳感器上的光強度的空間分布根據所述感應器的位移而改變，并且

其中，所述單塊金屬彈性元件具有大致筒狀形狀，所述筒狀形狀具有對應于兩個底部的兩個端部元件，所述感應器與一端部元件的中心連接，并且所述光源與相對的端部元件的中心連接，其中每個端部元件均具有與所述接觸式探針的主體一體結合的外周環以及允許所述光源沿著三條軸線移位的多個可變形元件。

2.根據權利要求1所述的接觸式探針，該接觸式探針包括接收由所述光源發出的光的數個光學圖像傳感器。

3.根據權利要求1所述的接觸式探針，該接觸式探針包括光掩模，該光掩模插設在光路中位于所述光源和所述光學圖像傳感器之間。

4.根據權利要求3所述的接觸式探針，其中，所述光掩模包括透鏡陣列。

5.根據權利要求1所述的接觸式探針，其中，所述感應器借助磁性連接或機械連接以可移除的方式連接至所述檢測系統。

6.根據權利要求1所述的接觸式探針，其中，所述感應器由可更換的模塊支承，該可更換的模塊包括感應器支架，所述感應器支架由限定六個接觸點的多個定位元件彈性地保持在靜止位置。

7.根據權利要求1所述的接觸式探針，該接觸式探針還包括處理電路，該處理電路設計成從由所述光學圖像傳感器記錄的圖像確定所述感應器沿三維的位移。

8.根據權利要求7所述的接觸式探針，其中，所述處理電路包括計算裝置。

9.根據權利要求7所述的接觸式探針，其中，所述處理電路被設計成在所述感應器的位移超過預定閾值時觸發接觸信號。

10.根據權利要求9所述的接觸式探針，該接觸式探針能被連接至外部電源，其中，所述接觸信號是由所述接觸式探針吸收的電流的變化。

11.根據權利要求9所述的接觸式探針，其中，所述預定閾值是可編程的。

12.根據權利要求7所述的接觸式探針，其中，所述處理電路被設計成根據所述感應器的位移來觸發偏轉信號。

13.根據權利要求7所述的接觸式探針，該接觸式探針還包括溫度傳感器，其中，所述處理電路被設計成基于由所述溫度傳感器提供的信號來補償溫度誤差。

14.根據權利要求1所述的接觸式探針，該接觸式探針包括加速計。

15.根據權利要求1所述的接觸式探針，其中，中心與所述光源相連的所述端部元件包括三個切向柔性葉片，所述切向柔性葉片借助柔性徑向臂與所述中心相連。

16.根據權利要求1所述的接觸式探針，其中，中心與所述感應器相連的所述端部元件包括三個柔性軸環。

17.根據權利要求1所述的接觸式探針，該接觸式探針包括止動件，這些止動件布置成限制所述單塊金屬彈性元件的變形并且確保在碰撞期間的穩健性。

18.根據權利要求8所述的接觸式探針，其中，所述計算裝置是微處理器、微控制器、DSP或CORDIC單元。