[發(fā)明專(zhuān)利]基板處理裝置、程序、存儲(chǔ)介質(zhì)和決定是否需要調(diào)節(jié)的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310052308.6
• 申請(qǐng)日: 2007-07-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103173739A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-06-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 森澤大輔
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): C23C16/44
• 分類(lèi)號(hào): C23C16/44;C23C16/52
• 代理公司: 北京尚誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種對(duì)被處理基板實(shí)施規(guī)定的處理的基板處理裝置，其特征在于，包括：

收容被處理基板并能夠真空排氣的腔室；

向所述腔室內(nèi)供給處理氣體和清掃氣體的氣體供給機(jī)構(gòu)；

對(duì)所述腔室內(nèi)進(jìn)行排氣的排氣機(jī)構(gòu)；和

控制在所述腔室內(nèi)的處理的控制部，其中，

所述控制部包括控制器和存儲(chǔ)部，

在所述存儲(chǔ)部中保存有多個(gè)加工工藝方案，所述多個(gè)加工工藝方案包括分配給每個(gè)加工工藝組的加工工藝組編號(hào)，

在所述存儲(chǔ)部中保存有作為先行加工工藝組的加工工藝組編號(hào)和后繼加工工藝組的加工工藝組編號(hào)的組合的矩陣而構(gòu)成的、針對(duì)是否需要加工工藝間調(diào)節(jié)處理所規(guī)定的表，

所述控制器進(jìn)行控制，使得執(zhí)行包括下述步驟的處理，所述步驟包括：

在所述腔室內(nèi)，根據(jù)從所述存儲(chǔ)部讀取的第一方案，實(shí)施先行的第一加工工藝的步驟；

在實(shí)施所述第一加工工藝之后，根據(jù)從所述存儲(chǔ)部讀取的第二方案，實(shí)施后繼的第二加工工藝的步驟；

在所述第一加工工藝結(jié)束后，直至所述第二加工工藝開(kāi)始為止的期間，基于所述第一方案中所包括的加工工藝組編號(hào)、所述第二方案中所包括的加工工藝組編號(hào)以及針對(duì)是否需要所述加工工藝間調(diào)節(jié)所規(guī)定的表，決定是否進(jìn)行調(diào)節(jié)所述腔室內(nèi)環(huán)境的加工工藝間調(diào)節(jié)的步驟；和

當(dāng)通過(guò)所述進(jìn)行決定的步驟決定進(jìn)行加工工藝間調(diào)節(jié)時(shí)，在所述第二加工工藝之前，實(shí)施加工工藝間調(diào)節(jié)的步驟。

2.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于：

所述加工工藝間調(diào)節(jié)包括：使用清掃氣體對(duì)所述腔室內(nèi)進(jìn)行清潔化的清掃處理；和在該清掃之后在所述腔室內(nèi)堆積規(guī)定的膜的預(yù)涂敷處理。

3.如權(quán)利要求2所述的基板處理裝置，其特征在于：

所述清掃處理和所述預(yù)涂敷處理的內(nèi)容基于所述第二加工工藝而決定。

4.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于：

所述規(guī)定的處理是用于在被處理基板上形成薄膜的成膜處理。

5.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于：

所述加工工藝組基于使用的原料氣體的種類(lèi)和成膜溫度被預(yù)先分類(lèi)。

6.一種決定是否需要調(diào)節(jié)的方法，其決定在基板處理裝置的腔室內(nèi)，是否在兩個(gè)成膜加工工藝之間進(jìn)行調(diào)節(jié)所述腔室內(nèi)環(huán)境的加工工藝間調(diào)節(jié)，其特征在于，包括：

將在所述腔室內(nèi)先行進(jìn)行的第一成膜加工工藝的加工工藝組編號(hào)保存在存儲(chǔ)部中的步驟；

從所述存儲(chǔ)部取得所述第一成膜加工工藝的加工工藝組編號(hào)的步驟；

根據(jù)關(guān)于在所述第一成膜加工工藝之后在所述腔室內(nèi)實(shí)施預(yù)定的后繼的第二成膜加工工藝的內(nèi)容所規(guī)定的加工工藝方案，取得所述第二成膜加工工藝的加工工藝組編號(hào)的步驟；和

基于取得的所述第一成膜加工工藝的加工工藝組編號(hào)、所述第二成膜加工工藝的加工工藝組編號(hào)以及作為先行加工工藝組的加工工藝組編號(hào)和后繼加工工藝組的加工工藝組編號(hào)的組合的矩陣而構(gòu)成的、針對(duì)是否需要加工工藝間調(diào)節(jié)處理所規(guī)定的表，決定是否在所述第一成膜加工工藝和所述第二成膜加工工藝之間進(jìn)行所述加工工藝間調(diào)節(jié)的步驟。

7.一種決定是否需要調(diào)節(jié)的方法，其決定在基板處理裝置的腔室內(nèi)，是否進(jìn)行調(diào)節(jié)該腔室內(nèi)環(huán)境的調(diào)節(jié)，其特征在于，包括：

將在所述腔室內(nèi)先行進(jìn)行的第一成膜加工工藝的加工工藝組編號(hào)保存在存儲(chǔ)部中的步驟；

判斷在所述腔室內(nèi)進(jìn)行的第一成膜加工工藝中被處理基板的處理個(gè)數(shù)或者成膜厚度的累計(jì)值是否達(dá)到作為實(shí)施在所述第一成膜加工工藝的中途進(jìn)行的個(gè)數(shù)/膜厚基準(zhǔn)的調(diào)節(jié)的契機(jī)預(yù)先規(guī)定的設(shè)定值的步驟；

在沒(méi)有達(dá)到所述設(shè)定值時(shí)，從所述存儲(chǔ)部取得所述第一成膜加工工藝的加工工藝組編號(hào)的步驟；

根據(jù)針對(duì)所述第一成膜加工工藝后在所述腔室內(nèi)實(shí)施預(yù)定的后繼的第二成膜加工工藝的內(nèi)容規(guī)定的加工工藝方案，取得所述第二成膜加工工藝的加工工藝組編號(hào)的步驟；和

基于取得的所述第一成膜加工工藝的加工工藝組編號(hào)、所述第二成膜加工工藝的加工工藝組編號(hào)以及作為先行加工工藝組的加工工藝組編號(hào)和后繼加工工藝組的加工工藝組編號(hào)的組合的矩陣而構(gòu)成的、針對(duì)是否需要加工工藝間調(diào)節(jié)處理所規(guī)定的表，決定是否在所述第一成膜加工工藝和所述第二成膜加工工藝之間進(jìn)行所述加工工藝間調(diào)節(jié)的步驟。