[發明專利]烷氧基氨基硅烷化合物及其應用

有效

• 申請號: 201310051550.1
• 申請日: 2013-01-28
• 公開（公告）號: CN103224510A
• 公開（公告）日: 2013-07-31
• 發明（設計）人: D·P·斯彭斯;R·M·皮爾斯泰恩;雷新建;蕭滿超;R·霍;M·L·奧內爾;H·錢德拉
• 申請（專利權）人: 氣體產品與化學公司
• 主分類號: C07F7/18
• 分類號: C07F7/18;C23C16/40
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 吳亦華

1.一種用于沉積含硅薄膜的烷氧基氨基硅烷，其具有通式(I)：

(R¹R²)NSiR³OR⁴OR⁵???式(I)

其中R¹獨立地選自直鏈或支鏈C₁-C₁₀烷基、C₂-C₁₂烯基、C₂-C₁₂炔基、C₄-C₁₀環烷基和C₆-C₁₀芳基；R²和R³各自獨立地選自氫、直鏈或支鏈C₁-C₁₀烷基、C₃-C₁₂烯基、C₃-C₁₂炔基、C₄-C₁₀環烷基和C₆-C₁₀芳基；且R⁴和R⁵各自獨立地選自直鏈或支鏈C₁-C₁₀烷基、C₂-C₁₂烯基、C₂-C₁₂炔基、C₄-C₁₀環烷基和C₆-C₁₀芳基，其中R¹和R²連接形成環或者R¹和R²不連接形成環，并且其中R⁴和R⁵連接形成環或者R⁴和R⁵不連接形成環。

2.如權利要求1所述的烷氧基氨基硅烷，其中R¹選自叔丁基和叔戊基；且R⁴和R⁵包括選自乙基、正丙基、異丙基、正丁基、仲丁基、異丁基和叔丁基的C₁-C₅烷基；或者

其中R¹包括選自乙基、正丙基、異丙基、正丁基、仲丁基、異丁基和叔丁基的C₁-C₅烷基；且R⁴和R⁵包括選自異丙基、仲丁基、異丁基、叔丁基和叔戊基的支鏈C₃-C₅烷基。

3.如權利要求1或2所述的烷氧基氨基硅烷，其中R⁴和R⁵連接形成環。

4.如權利要求1或2所述的烷氧基氨基硅烷，包括二乙氧基(叔丁基氨基)硅烷或二甲氧基(叔丁基氨基)硅烷。