[發(fā)明專利]傳送系統(tǒng)

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310051209.6
• 申請(qǐng)日: 2013-02-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103253512A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-08-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 南孝;勝田信一
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社安川電機(jī)
• 主分類號(hào): B65G49/05
• 分類號(hào): B65G49/05;G05B19/418
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 黨曉林;王小東

技術(shù)領(lǐng)域

在此公開(kāi)的實(shí)施方式涉及一種傳送系統(tǒng)。

背景技術(shù)

傳統(tǒng)公知一種用于傳送諸如半導(dǎo)體晶片或液晶面板之類的薄工件的機(jī)器人，以及一種用于通過(guò)檢測(cè)工件的取向而調(diào)整薄工件的調(diào)整器裝置。在下面的描述中，將調(diào)整器裝置稱作“基板定位裝置”。

有時(shí)有這樣的情況，在局部清潔的傳送室內(nèi)安裝多個(gè)機(jī)器人以便提高吞吐量。經(jīng)常有這樣的情況，即便在傳送室內(nèi)安裝多個(gè)機(jī)器人，在傳送室內(nèi)也僅布置一個(gè)基板定位裝置。

已經(jīng)提出一種技術(shù)，該技術(shù)通過(guò)使用用于管理傳送室并控制機(jī)器人的操作的機(jī)器人控制裝置而控制多個(gè)機(jī)器人（例如參見(jiàn)日本專利申請(qǐng)2011-249726號(hào)公報(bào)）。

在上述傳統(tǒng)的傳送系統(tǒng)中，多個(gè)機(jī)器人由一個(gè)機(jī)器人控制裝置控制。這造成施加給機(jī)器人控制裝置沉重負(fù)擔(dān)的問(wèn)題。

在額外安裝機(jī)器人以及基板定位裝置的情況下，需要改變機(jī)器人控制裝置的控制方法。因此，需要定制每種系統(tǒng)配置。

發(fā)明內(nèi)容

在此公開(kāi)的實(shí)施方式提供一種能夠輕松應(yīng)對(duì)系統(tǒng)配置變化的傳送系統(tǒng)。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供一種傳送系統(tǒng)，該傳送系統(tǒng)包括：基板定位裝置，該基板定位裝置包括能繞旋轉(zhuǎn)中心旋轉(zhuǎn)的安裝臺(tái)，所述基板定位裝置構(gòu)造成對(duì)置于所述安裝臺(tái)上的基板執(zhí)行位置校準(zhǔn)；多個(gè)機(jī)器人，這些機(jī)器人構(gòu)造成將所述基板傳送至所述基板定位裝置以及從所述基板定位裝置傳送所述基板，這些機(jī)器人包括第一機(jī)器人與第二機(jī)器人；以及多個(gè)機(jī)器人控制裝置，這些機(jī)器人控制裝置以與所述多個(gè)機(jī)器人對(duì)應(yīng)的關(guān)系設(shè)置，并構(gòu)造成控制所述機(jī)器人的操作，這些機(jī)器人控制裝置包括第一機(jī)器人控制裝置與第二機(jī)器人控制裝置，所述第一機(jī)器人與所述基板定位裝置連接至所述第一機(jī)器人控制裝置，所述第二機(jī)器人連接至所述第二機(jī)器人控制裝置，其中，所述第一機(jī)器人控制裝置包括獲取單元以及傳輸單元，所述獲取單元構(gòu)造成從所述基板定位裝置至少獲取所述安裝臺(tái)的旋轉(zhuǎn)中心與被定位的所述基板的中心位置之間的絕對(duì)偏差量，所述傳輸單元構(gòu)造成向所述第二機(jī)器人所連接的所述第二機(jī)器人控制裝置傳輸基于由所述獲取單元獲取的所述絕對(duì)偏差量的校正信息。

根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式能輕松應(yīng)付系統(tǒng)配置的改變。

附圖說(shuō)明

圖1是示出根據(jù)本實(shí)施方式的傳送系統(tǒng)的示意平面圖。

圖2是示出根據(jù)本實(shí)施方式的機(jī)器人的示意立體圖。

圖3是示出根據(jù)本實(shí)施方式的傳送系統(tǒng)的框圖。

圖4是示出基板定位裝置的示意平面圖。

圖5是示出示教位置的圖。

圖6是示出中心位置偏差量的圖。

圖7是示出校正處理的處理順序的流程圖。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)將參照形成本發(fā)明的一部分的附圖詳細(xì)描述在此公開(kāi)的傳送系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施方式。然而，本發(fā)明不限于以下描述的實(shí)施方式。

以下將借助實(shí)施例描述用于通過(guò)使用機(jī)器人傳送諸如半導(dǎo)體晶片之類的薄工件的傳送系統(tǒng)。薄工件將被稱作“晶片”。用于保持晶片的機(jī)器人的機(jī)器人手將被稱作“手”。

首先，將參照?qǐng)D1描述根據(jù)本實(shí)施方式的傳送系統(tǒng)1。圖1是示出根據(jù)本實(shí)施方式的傳送系統(tǒng)1的示意平面圖。

在根據(jù)本實(shí)施方式的傳送系統(tǒng)1中，如圖1所示，分別為第一機(jī)器人10與第二機(jī)器人20設(shè)置第一機(jī)器人控制裝置30與第二機(jī)器人控制裝置40。第一機(jī)器人10與第二機(jī)器人20的操作分別由第一機(jī)器人控制裝置30與第二機(jī)器人控制裝置40控制。第一機(jī)器人控制裝置30也控制基板定位裝置50的操作。第一機(jī)器人控制裝置30可接收來(lái)自基板定位裝置50的信息，并且可將所述信息傳輸至第二機(jī)器人控制裝置40。

如圖1所示，根據(jù)本實(shí)施方式的傳送系統(tǒng)1包括主機(jī)設(shè)備60、第一機(jī)器人控制裝置30、第二機(jī)器人控制裝置40、第一機(jī)器人10、第二機(jī)器人20以及基板定位裝置50。

第一機(jī)器人控制裝置30與第二機(jī)器人控制裝置40連接至主機(jī)設(shè)備60，并且可與主機(jī)設(shè)備60通信。第一機(jī)器人10與基板定位裝置50連接至第一機(jī)器人控制裝置30，并且可與第一機(jī)器人控制裝置30通信。第二機(jī)器人20連接至第二機(jī)器人控制裝置40，并且可與第一機(jī)器人控制裝置40通信。第二機(jī)器人控制裝置40連接至第一機(jī)器人控制裝置30，并且可與第一機(jī)器人控制裝置30通信。

主機(jī)設(shè)備60是用于對(duì)傳送系統(tǒng)1執(zhí)行全面控制與管理的裝置。例如，主機(jī)設(shè)備60通過(guò)第一機(jī)器人控制裝置30指示第一機(jī)器人10卸載置于基板定位裝置50上的晶片3，并且將晶片3傳送至與傳送室2并排安裝的處理室6。