[發明專利]光束產生裝置

有效

• 申請號: 201310050579.8
• 申請日: 2013-02-07
• 公開（公告）號: CN103869474A
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發明（設計）人: 李閔凱;林于中;陳政寰;劉松河
• 申請（專利權）人: 財團法人工業技術研究院
• 主分類號: G02B27/09
• 分類號: G02B27/09;G02B27/48
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 曹玲柱

1.一種光束產生裝置，其特征在于，包括：

激光光源，輸出激光束；

散斑抑制模塊，包括：

第一柱狀透鏡，配置于該激光束的傳遞路徑上；

擴散器，配置于來自該第一柱狀透鏡的該激光束的傳遞路徑上；以及

第二柱狀透鏡，配置于來自該擴散器的該激光束的傳遞路徑上；

光均勻化模塊，配置于來自該第二柱狀透鏡的該激光束的傳遞路徑上；以及

驅動單元，驅使該擴散器相對該激光束運動，以使從該第二柱狀透鏡出射的該激光束在第一方向上的光束參數乘積比值相對于在第二方向上的光束參數乘積比值的比值大于2，其中該第一方向垂直于該第二方向。

2.根據權利要求1所述的光束產生裝置，其特征在于，該第一柱狀透鏡的曲面以及該第二柱狀透鏡的曲面在該第一方向上不彎曲，且在該第二方向上彎曲。

3.根據權利要求2所述的光束產生裝置，其特征在于，該第一柱狀透鏡的曲面朝向該激光光源，且該第二柱狀透鏡的曲面朝向該光均勻化模塊。

4.根據權利要求1所述的光束產生裝置，其特征在于，該激光束為一脈沖激光束，且該激光束的脈沖重復頻率與該擴散器被該激光束照射處的平均運動速率的比值小于或等于500。

5.根據權利要求4所述的光束產生裝置，其特征在于，還包括控制單元，電性連接至該激光光源與該驅動單元。

6.根據權利要求1所述的光束產生裝置，其特征在于，該激光束的波長是落在100納米至1000微米的范圍內。

7.根據權利要求1所述的光束產生裝置，其特征在于，該驅動單元驅使該擴散器旋轉。

8.根據權利要求1所述的光束產生裝置，其特征在于，該驅動單元驅使該擴散器來回平移振動。

9.根據權利要求8所述的光束產生裝置，其特征在于，該擴散器沿該第一方向來回平移振動。

10.根據權利要求1所述的光束產生裝置，其特征在于，該光均勻化模塊包括：

第一柱狀透鏡陣列，配置于來自該第二柱狀透鏡的該激光束的傳遞路徑上；

第二柱狀透鏡陣列，配置于來自該第一柱狀透鏡陣列的該激光束的傳遞路徑上。

11.根據權利要求10所述的光束產生裝置，其特征在于，該第一柱狀透鏡陣列包括多個第一微柱狀透鏡，每一該第一微柱狀透鏡沿著該第二方向延伸，該多個第一微柱狀透鏡沿著該第一方向排列，該第二柱狀透鏡陣列包括多個第二微柱狀透鏡，每一該第二微柱狀透鏡沿著該第二方向延伸，且該多個第二微柱狀透鏡沿著該第一方向排列。

12.根據權利要求1所述的光束產生裝置，其特征在于，該光束產生裝置還包括聚光透鏡與第三柱狀透鏡，該聚光透鏡配置于該激光束的傳遞路徑上，且位于該光均勻化模塊與該第三柱狀透鏡之間。

13.根據權利要求12所述的光束產生裝置，其特征在于，該激光束在經過該光均勻化模塊、該聚光透鏡與該第三柱狀透鏡后產生出一線型光斑，該線型光斑的長軸長度為L，且該線型光斑的短軸長度為W，且該擴散器具有呈周期性排列的多個微結構，該激光束在該第一柱狀透鏡與該第二柱狀透鏡之間具有一光束腰，該擴散器位于該光束腰與該第二柱狀透鏡之間，該多個微結構的頂部與該光束腰相隔一距離d，該多個微結構的節距為p，其中L/W正比于p/d。

14.根據權利要求12所述的光束產生裝置，其特征在于，該第三柱狀透鏡的曲面朝向該散斑抑制模塊。

15.根據權利要求12所述的光束產生裝置，其特征在于，該第三柱狀透鏡陣列的曲面在該第一方向上不彎曲，且在該第二方向上彎曲。

16.根據權利要求1所述的光束產生裝置，其特征在于，還包括：

擴束單元，配置于該激光束的傳遞路徑上，且位于該激光光源與該散斑抑制模塊之間。

17.根據權利要求1所述的光束產生裝置，其特征在于，該激光光源為連續波式激光光源。