[發明專利]靶材組件及其制備方法

在審

• 申請號: 201310049972.5
• 申請日: 2013-02-07
• 公開（公告）號: CN103981495A
• 公開（公告）日: 2014-08-13
• 發明（設計）人: 潘杰;姚力軍;王學澤;高建
• 申請（專利權）人: 余姚康富特電子材料有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種靶材組件，包括：背板，所述背板包括背面和與背面相對的固定面；在所述背板內設有水路，其特征在于，

還包括：設置于所述背板背面的凹槽，所述凹槽與水路貫通，且凹槽截面寬度大于水路截面寬度，使凹槽截面與水路截面呈階梯狀；

嵌于凹槽內的蓋板，所述蓋板置于階梯部。

2.根據權利要求1所述的靶材組件，其特征在于，所述蓋板置于水路上方，所述水路呈密封狀。

3.根據權利要求2所述的靶材組件，其特征在于，所述水路呈線形狀或圓形狀。

4.根據權利要求2所述的靶材組件，其特征在于，所述水路呈首尾相接的環狀。

5.根據權利要求4所述的靶材組件，其特征在于，位于靠近所述呈環狀的水路的中心的內側側壁和/或外側側壁處，所述凹槽截面與水路截面呈階梯狀。

6.根據權利要求1~5任一條所述的靶材組件，其特征在于，在所述蓋板上設有貫穿所述蓋板的水路進水口與水路出水口。

7.根據權利要求1所述的靶材組件，其特征在于，還包括：位于所述背板側壁上的水路出水口和水路進水口。

8.根據權利要求1所述的靶材組件，其特征在于，所述水路橫向貫穿背板側壁。

9.根據權利要求8所述的靶材組件，其特征在于，水路的一端為進水口，另一端為出水口。

10.一種靶材組件的制備方法，其特征在于，

提供背板，所述背板包括背面以及與背板相對的固定面；

在所述背板的背面開設第一凹槽和第二凹槽，所述第二凹槽位于所述第一凹槽上方，且與第一凹槽貫通；所述第二凹槽的截面寬度大于所述第一凹槽的截面寬度，使得所述第一凹槽的截面與第二凹槽的截面呈階梯狀；

在第二凹槽與第一凹槽連接的階梯部放置蓋板，在所述背板內形成水路。

11.如權利要求10所述的制備方法，其特征在于，所述第一凹槽和第二凹槽為分兩個步驟開設形成。

12.如權利要求11所述的制備方法，其特征在于，包括下列步驟：

先采用銑床加工在所述背板的背面形成第一凹槽；

之后，在所述第一凹槽的基礎上，繼續采用銑床加工拓寬所述第一凹槽上方的開口寬度，以形成第二凹槽。

13.如權利要求12所述的制備方法，其特征在于，在形成所述第一凹槽過程中，采用銑床加工在所述背板的背面形成首尾相接的環形結構的第一凹槽；

之后沿所述第一凹槽的延伸方向，采用銑床加工拓寬在所述第一凹槽一側或是兩側的上端開口寬度，形成第二凹槽。

14.如權利要求10所述的制備方法，其特征在于，所述第一凹槽和第二凹槽為同一步驟開設形成。

15.如權利要求10所述的制備方法，其特征在于，還包括步驟：

在所述第一凹槽和第二凹槽形成后，以鉆頭在所述背板的側壁開設兩個導通所述第一凹槽的通孔，作為水路的水路進水口和水路出水口。

16.如權利要求10所述的制備方法，其特征在于，還包括步驟：在蓋板上形成水路進水口和水路出水口。

17.如權利要求10所述的制備方法，其特征在于，采用攪拌摩擦焊使所述蓋板與所述背板固定連接。