[發(fā)明專利]一種用于金剛線切割多晶硅片酸制絨的添加劑及使用方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310049552.7 | 申請日： | 2013-02-07 |
| 公開（公告）號： | CN103132079A | 公開（公告）日： | 2013-06-05 |
| 發(fā)明（設計）人： | 周波軒;徐蘇凡;武敏莉 | 申請（專利權(quán)）人： | 睿納能源科技（上海）有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/24 | 分類號： | C23F1/24;C30B33/10 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通專利事務所有限公司 33100 | 代理人： | 王雪 |
| 地址： | 201204 上海市浦東新區(qū)芳*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 金剛 切割 多晶 硅片 酸制絨 添加劑 使用方法 | ||
1.一種用于金剛線切割多晶硅片酸制絨的添加劑，其特征在于所述添加劑包括如下組分：聚乙烯醇、聚乙二醇和去離子水。
2.如權(quán)利要求1所述的添加劑，其特征在于所述聚乙烯醇的重量百分含量為0.5~2%。
3.如權(quán)利要求1所述的添加劑，其特征在于所述聚乙二醇的重量百分含量為0.5~2%。
4.如權(quán)利要求1所述的添加劑，其特征在于所述聚乙烯醇的醇解度為88%或98%，優(yōu)選醇解度為88%。
5.如權(quán)利要求1所述的添加劑，其特征在于所述聚乙二醇的分子量為200~5000，優(yōu)選分子量為400~1000。
6.一種權(quán)利要求1所述添加劑在金剛線切割多晶硅片酸制絨工藝中的使用方法，其特征在于所述酸制絨工藝包括如下步驟：a）配制添加劑：將聚乙烯醇和聚乙二醇溶解于去離子水中，制得添加劑；b）配制酸性制絨液：將氫氟酸和硝酸溶于去離子水中制得酸混合溶液，而后將步驟a）制得的添加劑加入到該酸混合溶液中，得到酸性制絨液；c）制絨：將金剛線切割多晶硅片浸入到步驟b）所獲得的酸性制絨液中進行制絨。
7.如權(quán)利要求6所述添加劑在金剛線切割多晶硅片酸制絨工藝中的使用方法，其特征在于所述步驟a）中，所述聚乙烯醇的重量百分含量為0.5~2%，所述聚乙二醇的重量百分含量為0.5~2%。
8.如權(quán)利要求6所述添加劑在金剛線切割多晶硅片酸制絨工藝中的使用方法，其特征在于所述步驟b）中，氫氟酸的重量百分含量為5~25%，硝酸的重量百分含量為30~60%。
9.如權(quán)利要求6所述添加劑在金剛線切割多晶硅片酸制絨工藝中的使用方法，其特征在于所述步驟b）中，添加劑的重量百分含量為0.4~1%。
10.如權(quán)利要求6所述添加劑在金剛線切割多晶硅片酸制絨工藝中的使用方法，其特征在于所述步驟c）中，制絨過程的制絨溫度為5~25oC，制絨時間為60~200s，優(yōu)選制絨溫度為5~10oC，優(yōu)選制絨時間為100~150s。
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