[發明專利]掩模版傳輸系統

有效

• 申請號: 201310049274.5
• 申請日: 2013-02-07
• 公開（公告）號: CN103984208A
• 公開（公告）日: 2014-08-13
• 發明（設計）人: 程永鋒;王邵玉
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司;上海微高精密機械工程有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種掩模版傳輸系統，用于將掩模版加載至掩模臺或自所述掩模臺卸載所述掩模版，其特征是，所述掩模版傳輸系統包括：

版庫，用于儲存所述掩模版；

機械手，其沿所述版庫儲存所述掩模版的方向取放所述掩模版，并沿所述掩模臺加載所述掩模版的方向加載或卸載所述掩模版；以及

預對準裝置，其設置于所述機械手的傳輸路徑上，以在所述機械手自所述版庫取出所述掩模版后，對所述掩模版執行預對準，在所述預對準完成后，所述機械手將所述掩模版加載至所述掩模臺，

其中所述版庫儲存所述掩模版的方向與所述掩模臺加載所述掩模版的方向相同，以實現所述機械手的直入直出。

2.根據權利要求1所述的掩模版傳輸系統，其特征是，所述機械手包括版叉、X向運動單元、Y向運動單元和Z向運動單元，所述版叉夾持所述掩模版，所述Y向運動單元驅動所述版叉沿Y向運動，從所述版庫取放掩模版及從所述掩模臺加載或卸載掩模版，所述X向運動單元和所述Z向運動單元分別驅動所述版叉沿X向和Z向運動，到達對應所述版庫和所述掩模臺的位置。

3.根據權利要求2所述的掩模版傳輸系統，其特征是，所述Z向運動單元包括：

Z向活動體，負載所述版叉；

Z向驅動體，連接于所述Z向活動體，以驅動所述Z向活動體負載所述版叉沿Z向運動；

所述X向運動單元包括：

X向活動體，負載所述Z向驅動體；

X向驅動體，連接于所述X向活動體，以驅動所述X向活動體負載所述Z向活動體沿X向運動；

所述Y向運動單元包括：

Y向活動體，負載所述X向驅動體；

Y向驅動體，連接于所述Y向活動體，以驅動所述Y向活動體負載所述X向驅動體沿Y向運動。

4.根據權利要求3所述的掩模版傳輸系統，其特征是，所述Z向驅動體包括Z向導軌以及驅動所述Z向活動體沿所述Z向導軌運動的Z向直線電機；所述X向驅動體包括X向導軌以及驅動所述X向活動體沿所述X向導軌運動的X向直線電機。

5.根據權利要求3所述的掩模版傳輸系統，其特征是，所述Y向活動體設有兩個，所述Y向驅動體包括沿Y向相對設置的Y1向導軌和Y2向導軌，以及分別對應驅動所述兩個Y向活動體沿所述Y1向導軌和所述Y2向導軌運動的Y1向直線電機和Y2向直線電機。

6.根據權利要求5所述的掩模版傳輸系統，其特征是，所述X向驅動體與所述兩個Y向活動體之間分別通過一旋轉軸承對應連接，當沿所述Y1向導軌和所述Y2向導軌運動的所述兩個Y向活動體沿Y向產生相對運動時，所述旋轉軸承對應旋轉，使所述X向驅動體繞Z向作旋轉運動。

7.根據權利要求6所述的掩模版傳輸系統，其特征是，所述各旋轉軸承分別通過一活動導軌與所述X向驅動體連接，所述活動導軌沿Y向設置并隨所述旋轉軸承旋轉。

8.根據權利要求2所述的掩模版傳輸系統，其特征是，所述預對準裝置為沿X向開口的U型結構，所述掩模版由所述U型結構開口一側沿Y向通過所述預對準裝置，完成預對準。