[發(fā)明專利]基板檢查裝置的對(duì)準(zhǔn)方法以及基板檢查裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310049145.6
• 申請(qǐng)日: 2013-02-07
• 公開（公告）號(hào): CN103245803A
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 星謙二
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日本電產(chǎn)理德株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01R1/02
• 分類號(hào): G01R1/02;G01R31/02;G01R31/12
• 代理公司: 北京弘權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11363
• 代理人: 郭放;許偉群

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及調(diào)整檢查夾具與被檢查基板的位置關(guān)系的基板檢查裝置的對(duì)準(zhǔn)方法以及基板檢查裝置。

背景技術(shù)

作為這種以往技術(shù)，例如有在專利文獻(xiàn)1中記載的技術(shù)。在該專利文獻(xiàn)1在記載的技術(shù)中，根據(jù)由基板用的照相機(jī)拍攝被檢查基板所得到的拍攝圖像來取得被檢查基板的位置信息，并根據(jù)由夾具用的照相機(jī)拍攝檢查部具的檢查銷的前端所得到的拍攝圖像來取得檢查夾具的檢查銷前端的位置信息，根據(jù)這些位置信息來自動(dòng)地求出被檢查基板與檢查夾具的位置關(guān)系（參見摘要等）。

[專利文獻(xiàn)1]日本特開2000-346896號(hào)公報(bào)

但是，上述專利文獻(xiàn)1記載的技術(shù)是在檢查夾具上只設(shè)置兩個(gè)檢查銷的情況下的技術(shù)。因此，如果要應(yīng)用到在檢查夾具中設(shè)置有大量（例如，數(shù)千個(gè)的規(guī)模等）的檢查銷的情況下，則為了準(zhǔn)確地取得各檢查銷前端的位置信息，就需要高分辨率且高精度的拍攝設(shè)備，存在設(shè)備成本過高的問題。

另外，在以往的基板檢查裝置中，使檢查夾具接近被檢查基板時(shí)在Z方向的移動(dòng)距離的設(shè)定是由操作者通過目視進(jìn)行的。因此，在該檢查夾具的移動(dòng)距離的設(shè)定中會(huì)產(chǎn)生偏差，有發(fā)生檢查夾具的檢查銷與被檢查基板接觸時(shí)的按壓力過強(qiáng)、或檢查銷與被檢查基板的檢查點(diǎn)的接觸不充分的情況。如果檢查夾具接觸時(shí)的壓力過強(qiáng)，則在檢查夾具接觸時(shí)被檢查基板彎曲，由此設(shè)置在被檢查基板上的檢查點(diǎn)的位置在XY方向上微小偏移，產(chǎn)生檢查夾具的檢查銷與被檢查基板的檢查點(diǎn)的位置偏移。

因而，本發(fā)明要解決的第一個(gè)課題在于提供一種即使在檢查夾具上設(shè)置大量的檢查銷的情況下，也能夠以廉價(jià)的結(jié)構(gòu)且高效率地進(jìn)行檢查夾具與被檢查基板的對(duì)位的基板檢查裝置的對(duì)準(zhǔn)方法以及基板檢查裝置。

另外，本發(fā)明要解決的第二個(gè)課題在于提供一種能夠穩(wěn)定地將使檢查夾具接近被檢查基板時(shí)在Z方向的移動(dòng)距離設(shè)定為最優(yōu)值，并能夠使檢查夾具的檢查銷穩(wěn)定地與被檢查基板的檢查點(diǎn)相接觸的基板檢查裝置的對(duì)準(zhǔn)方法以及基板檢查裝置。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述課題，在本發(fā)明的第一方面，提供一種調(diào)整檢查夾具與被檢查基板的位置關(guān)系的基板檢查裝置的對(duì)準(zhǔn)方法，其中，設(shè)置在基板檢查裝置的夾具設(shè)置部上的所述檢查夾具具有可接近、離開設(shè)置在基板設(shè)置部上的被檢查基板并分別與設(shè)定在上述被檢查基板上的多個(gè)檢查點(diǎn)接觸的多個(gè)檢查銷，所述方法具備以下步驟：測(cè)量在設(shè)置于上述夾具設(shè)置部上的上述檢查夾具上設(shè)置的上述多個(gè)檢查銷中的一部分或全部檢查銷的在XY方向的銷位置從設(shè)計(jì)位置的偏移，對(duì)所測(cè)量到的偏移進(jìn)行平均并取得銷平均偏移，并測(cè)量設(shè)置在上述檢查夾具上的夾具位置標(biāo)記的在XY方向的位置從設(shè)計(jì)位置的偏移并取得夾具位置標(biāo)記偏移的步驟；將所取得的上述銷平均偏移和上述夾具位置標(biāo)記偏移單獨(dú)地或合成并登記在上述基板檢查裝置中的步驟；利用設(shè)置在上述基板檢查裝置上的夾具照相機(jī)拍攝在上述夾具設(shè)置部上設(shè)置的上述檢查夾具的上述夾具位置標(biāo)記，根據(jù)基于所拍攝圖像中的上述夾具位置標(biāo)記的位置而檢測(cè)到的上述夾具位置的在XY方向的位置、以及單獨(dú)地或合成并預(yù)先登記的上述銷平均偏移和上述夾具位置標(biāo)記偏移，來取得與上述檢查夾具的在XY方向的位置有關(guān)的夾具位置信息的步驟；利用設(shè)置在上述基板檢查裝置上的基板照相機(jī)拍攝在上述基板設(shè)置部上設(shè)置的上述被檢查基板，并根據(jù)所拍攝圖像取得與上述被檢查基板的在XY方向的位置有關(guān)的基板位置信息的步驟；以及根據(jù)所取得的上述夾具位置信息和上述基板位置信息，來調(diào)整上述檢查夾具和上述被檢查基板的至少一方的位置，使得上述檢查夾具的在XY方向的位置與上述被檢查基板的在XY方向位置相對(duì)應(yīng)的步驟。

另外，在本發(fā)明的第二方面，在上述第一方面的基板檢查裝置的對(duì)準(zhǔn)方法中，將預(yù)先取得的上述銷平均偏移和上述夾具位置標(biāo)記偏移登記在上述基板檢查裝置中的上述步驟是伴隨著將設(shè)置在上述夾具設(shè)置部上的上述檢查夾具更換而執(zhí)行的。

另外，在本發(fā)明的第三方面，在上述第一或第二方面的基板檢查裝置的對(duì)準(zhǔn)方法中還具備以下步驟：將與設(shè)置在上述夾具設(shè)置部上的上述檢查夾具的沿Z方向的高度有關(guān)的高度信息登記在上述基板夾具裝置中的步驟；利用設(shè)置在上述基板檢查裝置上的基板表面位置檢測(cè)部檢測(cè)設(shè)置在上述基板設(shè)置部上的上述被檢查基板的表面的位置的步驟；以及根據(jù)檢測(cè)到的上述被檢查基板的表面的位置信息和所登記的上述高度信息，確定使上述檢查夾具接近并接觸上述被檢查基板時(shí)上述檢查夾具在Z方向的移動(dòng)距離的步驟。