[發明專利]曝光機掩膜版安裝裝置

有效

• 申請號: 201310048017.X
• 申請日: 2013-02-06
• 公開（公告）號: CN103092007A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: 陳潤;肖金濤;周振遠
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

1.一種曝光機掩膜版安裝裝置，包括：

用于固定掩膜版的掩膜架；

設置在所述掩膜架下方的氣囊，所述氣囊用于支撐掩膜架；

所述氣囊通過供氣管路連通氣體供給單元；

其特征在于，

所述供氣管路上設置有氣動開關閥，當氣體供給單元供給中斷時，氣動開關閥控制供氣管路關閉，防止氣囊泄氣。

2.根據權利要求1所述的曝光機掩膜版安裝裝置，其特征在于，

所述氣囊為多個且間隔設置于所述掩膜架下方。

3.根據權利要求2所述的曝光機掩膜版安裝裝置，其特征在于，

所述供氣管路包括控制管路和多個支供氣管路，所述支供氣管路連通所述氣囊，所述控制管路連通所述氣體供給單元和支供氣管路；

所述氣動開關閥設置在所述控制管路上，或者所述支供氣管路上，或者同時設置在所述控制管路和支供氣管路上。

4.根據權利要求3所述的曝光機掩膜版安裝裝置，其特征在于，

所述控制管路上還設置有通氣閥、總減壓閥和總壓力表。

5.根據權利要求4所述的曝光機掩膜版安裝裝置，其特征在于，

所述通氣閥、總減壓閥和總壓力表設置在控制管路上靠近所述氣體供給單元的一端；所述總氣動開關閥設置在控制管路上靠近氣囊的一端。

6.根據權利要求3所述的曝光機掩膜版安裝裝置，其特征在于，

所述支供氣管路上還設置有減壓閥和壓力表。

7.根據權利要求6所述的曝光機掩膜版安裝裝置，其特征在于，

所述減壓閥和壓力表設置在支供氣管路上靠近所述氣體供給單元的一端；所述支氣動開關閥設置在支供氣管路上靠近氣囊的一端。

8.根據權利要求1所述的曝光機掩膜版安裝裝置，其特征在于，

所述曝光機掩膜版安裝裝置還包括支撐部，

所述支撐部設置在所述掩膜版下部邊緣，用于支撐掩膜版；

所述支撐部通過連桿與氣缸的氣缸活塞相連，所述氣缸為自鎖氣缸，所述氣缸活塞的伸縮牽引所述支撐部靠近或遠離所述掩膜版。

9.根據權利要求8所述的曝光機掩膜版安裝裝置，其特征在于，

所述氣缸由所述氣體供給單元提供壓縮氣體。

10.根據權利要求1-9任一項所述的曝光機掩膜版安裝裝置，其特征在于，

所述掩膜架內設置有真空吸盤，所述真空吸盤用于固定掩膜版。